[实用新型]一种光学芯片切割夹具

权利要求书

1.一种光学芯片切割夹具，包括夹持座(1)，其特征在于：所述夹持座(1)的内部开设有滑腔(2)，所述滑腔(2)的内部滑动连接有空心升降盘(3)，所述空心升降盘(3)的顶部安装有垫盘(4)，所述垫盘(4)的顶部设置有硅晶圆片(5)，所述空心升降盘(3)的顶壁以及垫盘(4)的内部均阵列设置有多个微气孔(6)，所述空心升降盘(3)的底部固定连接有下延管(7)，所述下延管(7)的底端贯穿夹持座(1)，并与夹持座(1)滑动连接，所述下延管(7)的底端固定安装有真空气管(8)，所述滑腔(2)内壁的顶部开设有环形空腔(9)，所述环形空腔(9)靠近滑腔(2)内壁的周向侧固定连接有鼓膜(10)，所述环形空腔(9)的一侧固定安装有注气管(11)，所述夹持座(1)的底部固定安装有小型伺服电机(18)，所述小型伺服电机(18)通过输出轴传动连接有齿轮(16)，所述下延管(7)的外部开设有齿条槽(17)，所述齿条槽(17)的内部设置有与齿轮(16)相啮合的齿条。

2.根据权利要求1所述的一种光学芯片切割夹具，其特征在于：所述滑腔(2)内壁的顶部设置位于锥形扩口状。

3.根据权利要求1所述的一种光学芯片切割夹具，其特征在于：所述垫盘(4)的底部固定连接有凸点(13)，所述空心升降盘(3)的顶部开设有凹槽(12)，所述凸点(13)卡合于凹槽(12)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种光学芯片切割夹具，其特征在于：所述空心升降盘(3)底部的边缘处固定连接有导杆(14)，所述夹持座(1)的底壁开设有导向孔(15)，所述导杆(14)滑动连接于导向孔(15)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种光学芯片切割夹具，其特征在于：所述夹持座(1)底部的小型伺服电机(18)和齿轮(16)均设置为两个，且两个所述小型伺服电机(18)以下延管(7)的中心轴线中心对称设置，所述下延管(7)外部的齿条槽(17)也设置为两个。

6.根据权利要求1所述的一种光学芯片切割夹具，其特征在于：所述垫盘(4)的顶部设置有橡胶层，且所述垫盘(4)顶部橡胶层的顶壁设置为光滑表面。