[实用新型]一种分段温差电元件电阻测量装置有效
| 申请号： | 202022145931.4 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213581143U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 周天;侯旭峰;刘锐;梁亮;回敬;阎勇;王彪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分段 温差 元件 电阻 测量 装置 | ||
1.一种分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，至少包括：
基板(10)，在所述基板(10)上设有外接高频交流电源的极柱(8)、开关(9)和接线孔(11)；
安装于基板(10)上的丝杠手动位移台(1)、固定电极平台(4)和XY轴位移台(2)；
安装于丝杠手动位移台(1)上，并受丝杠手动位移台(1)带动沿着X轴运动的移动电极平台(3)；
安装于移动电极平台(3)上的第一空心电极；
安装于固定电极平台(4)上的第二空心电极；
安装于XY轴位移台(2)上的探针平台(5)；
安装于探针平台(5)上的伸缩探针(7)；
连接极柱(8)、开关(9)、接线孔(11)和高频交流电源用的导线；
所述丝杠手动位移台(1)和固定电极平台(4)位于X轴方向；两个空心电极位于X轴方向，且两者之间为测试区域；所述伸缩探针(7)位于测试区域一侧的Y轴方向。
2.根据权利要求1所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述伸缩探针(7)外壁包覆有聚酰亚胺管(13)。
3.根据权利要求1所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述伸缩探针(7)头部高于两个空心电极的端面。
4.根据权利要求2所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述聚酰亚胺管(13)的长度大于空心电极的长度。
5.根据权利要求2所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述聚酰亚胺管(13)与空心电极同轴。
6.根据权利要求1-5任一项所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述丝杠手动位移台(1)的位移行程为50mm。
7.根据权利要求1-5任一项所述的分段温差电元件电阻测量装置，其特征在于，所述XY轴位移台(2)的行程为25mm。
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