[实用新型]一种用于磨片机磨液的节流装置有效

专利信息
申请号: 202021914738.6 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN213673621U 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 韩云霄;杨波;李战国 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料股份有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02;B24B7/22
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人: 卫煜睿
地址: 471000 河南省洛*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 磨片机磨液 节流 装置
【权利要求书】:

1.一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,包括蠕动泵(1)、出液管(2)、缓存槽(3)、进液管(4)、高限位传感器(5)、低限位传感器(6)、电子阀(7)和手动阀(8),所述出液管(2)设置在所述蠕动泵(1)内,出液管(2)的一端连接磨片机(10),另一端与所述缓存槽(3)连通,缓存槽(3)内腔的底部平铺有防堵塞斜面(9),缓存槽(3)的外壁上安装所述高限位传感器(5)和所述低限位传感器(6),高限位传感器(5)设置在低限位传感器(6)上方,所述电子阀(7)和所述手动阀(8)设置在进液管(4)上,高限位传感器(5)和低限位传感器(6)为电子阀(7)提供工作信号。

2.如权利要求1所述的一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,所述缓存槽(3)为长方形。

3.如权利要求1所述的一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,所述高限位传感器(5)距离缓存槽(3)顶部5cm。

4.如权利要求1所述一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,所述低限位传感器(6)距离缓存槽(3)底部5cm。

5.如权利要求1所述的一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,所述电子阀(7)设置在距离缓存槽(3)近的一侧。

6.如权利要求1所述一种用于磨片机磨液的节流装置,其特征在于,所述防堵塞斜面(9)的最高端距离缓存槽(3)底部5cm。

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