[实用新型]一种晶圆激光切割底座结构

权利要求书

1.一种晶圆激光切割底座结构，包括底座（1）和第二工作台（16），其特征在于：所述底座（1）的上端面固定有支臂（2），且支臂（2）的右端固定有第一气缸（3），所述第一气缸（3）的右侧连接有第一伸缩杆（4），且第一伸缩杆（4）的右端连接有激光发射器（5），所述激光发射器（5）的下侧设置有蜂窝网板（22），且蜂窝网板（22）的下端设置有第一工作台（21），所述第一工作台（21）的下端固定有第二滑板（20），且第二滑板（20）的下端设置有滑块（19），所述滑块（19）的下端设置有滑轨（18），且滑轨（18）的下端固定有第一滑板（6），所述第一滑板（6）的下端安装有支撑腿（8），且支撑腿（8）的下端安装有滚轮（9），所述第二工作台（16）的下端固定有传动杆（13），且传动杆（13）的右侧设置有电机（17），所述电机（17）的下端设置有托盘（12），且托盘（12）的下端固定有第二伸缩杆（11），所述第二伸缩杆（11）的下端连接有第二气缸（10）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述第一滑板（6）的右侧和第二滑板（20）的前侧皆设置有把手（7），且把手（7）的厚度小于滑板厚度，且第一滑板（6）与第二滑板（20）的厚度大小一致。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述滑块（19）固定在第二滑板（20）的下端，且滑块（19）关于第二滑板（20）的垂直中线对称，且滑块（19）位于把手（7）的内侧，所述滑轨（18）设置为“工”字型，且滑轨（18）与滑块（19）尺寸大小相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述第一滑板（6）与底座（1）滑动连接，且连接方式与第二滑板（20）和第一滑板（6）的连接方式相同，且第一滑板（6）在水平方向左右移动，第二滑板（20）在水平方向前后移动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述传动杆（13）的外部固定有从动齿轮（14），且从动齿轮（14）的右侧啮合有主动齿轮（15），且主动齿轮（15）与电机（17）的输出轴连接，所述传动杆（13）的下端安装有轴承，且轴承固定在托盘（12）的上端。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述托盘（12）设置为矩形，且设置第二工作台（16）圆柱体结构，所述蜂窝网板（22）与第一工作台（21）的夹层设置有微型的三角支架，且第二工作台（16）的表面设置有同样的蜂窝网板（22）。