[实用新型]一种光刻机的硅片直线预矫正装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机的硅片直线预矫正装置，包括机架，所述机架上设置有由第一升降动力装置驱动的升降平台，所述直线预矫正装置安装于机架上，该直线预矫正装置包括水平滑座，所述水平滑座滑动安装于机架上且由水平动力装置驱动；所述水平滑座上设置有竖直支座，所述竖直支座上竖直滑动安装有一次升降座，所述一次升降座由第二升降动力装置驱动，所述一次升降座上还安装有顶推硅片盛放盒内硅片的矫正杆，所述矫正杆上设置有与硅片端部接触的柔性材料。该直线预矫正装置能够在硅片转移之前对硅片盛放盒内的硅片进行位置矫正，从而方便后续的寻边操作。

技术领域

本实用新型涉及一种直线预矫正装置，尤其涉及一种光刻机的硅片直线预矫正装置。

背景技术

光刻机是一种常用的设备，其工作过程是：将一个装有若干片硅片的硅片盛放盒(一般称之为花篮)放置在一个可升降的放置平台上，放置平台上设置有定位结构将花篮的位置准确定位，然后利用取片机构将花篮上的硅片逐片取出并送至光刻机的光刻工位中，光刻机会对每个硅片进行寻边，从而最终判断硅片的边缘位置，确定光刻区域。然在工作过程中会存在一个问题，虽然花篮的位置是可以准确的定位，但是硅片放在花篮内的位置并不一致，一般硅片放置在花篮的片槽中，花篮的左右两侧的侧壁是和硅片的直径适配，花篮的一端开口，另一端具有端壁，而硅片塞入到片槽后，硅片并不一定与端壁接触，尤其是花篮被移动到放置平台的过程中，硅片可能会出现晃动等现象，因此即使硅片原本放置的比较准确，但是移动过程中硅片位置依旧会改变，这样，取片机构将位置不准确的硅片转移到光刻区域时，硅片的位置就会发生偏移，而可能出现偏移量过大的情况，寻边动作无法完成，这样容易导致光刻机会停机报警，也降低了效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机的硅片直线预矫正装置，该直线预矫正装置能够在硅片转移之前对硅片盛放盒内的硅片进行位置矫正，从而方便后续的寻边操作。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机的硅片直线预矫正装置，包括机架，所述机架上设置有由第一升降动力装置驱动的升降平台，所述直线预矫正装置安装于机架上，该直线预矫正装置包括水平滑座，所述水平滑座滑动安装于机架上且由水平动力装置驱动；所述水平滑座上设置有竖直支座，所述竖直支座上竖直滑动安装有一次升降座，所述一次升降座由第二升降动力装置驱动，所述一次升降座上还安装有顶推硅片盛放盒内硅片的矫正杆，所述矫正杆上设置有与硅片端部接触的柔性材料。

作为一种优选的方案，所述矫正杆包括两根竖直杆和连接竖直杆之间的连接杆，所述连接杆安装于所述一次升降座上，所述竖直杆的长度与硅片盛放盒内叠置的硅片总高度适配，所述柔性材料设置于两根竖直杆上，设定水平滑座的滑动方向为X方向，所述两根竖直杆与硅片盛放盒内的硅片边缘矫正接触的两个部位分别为部位一和部位二，所述部位一和部位二的位置相对于硅片与X方向平行的直径对称。

作为一种优选的方案，所述竖直杆与硅片接触的一侧设置成斜面或者与硅片边缘完全吻合的圆弧面。

作为一种优选的方案，所述一次升降座上竖直升降滑动安装有二次升降座，所述一次升降座上安装有驱动二次升降座升降的第三升降动力装置，所述连接杆安装于二次升降座上。

作为一种优选的方案，所述连接杆上设置有至少两根水平导杆，所述二次升降座上设置有方便水平导杆滑动安装的水平安装槽，所述水平安装槽内设置有弹性缓冲件。

作为一种优选的方案，所述水平动力装置、第一升降动力装置、第二升降动力装置均为直线电机模组，所述第三升降动力装置为直线电机模组或者气缸。

作为一种优选的方案，所述机架包括底座和安装于底座上的立柱，所述立柱的上端设置了所述升降平台，所述立柱的中部设置了中间安装支座，所述直线预矫正装置安装于中间安装支座上。