[实用新型]一种用于真空镀膜机的装载夹具有效
申请号: | 202021702893.1 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN213203184U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 张兴明;周鑫 | 申请(专利权)人: | 上海永容光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 何浩 |
地址: | 201600 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 装载 夹具 | ||
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,且公开了一种用于真空镀膜机的装载夹具,包括安装杆,所述安装杆的外侧固定安装有限位环,所述安装杆的外侧套接安装有外套筒,所述外套筒的外侧固定安装有螺栓一,所述外套筒的外侧固定安装有支撑杆一,所述支撑杆一的外端固定安装有固定块。该用于真空镀膜机的装载夹具,安装有活动杆,活动杆上安装有支撑板,支撑板可以用来支撑和固定电路板,活动杆可以通过支撑杆进行移动,支撑板也可通过卡槽活动,方便对大部分的电路板进行支撑和固定,安装杆上活动安装有多个装载夹具,可通过外套筒在安装杆上移动,安装杆上的限位环可以防止外套筒脱落,方便调整上下之间的距离,便于镀膜操作。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种用于真空镀膜机的装载夹具。
背景技术
真空镀膜是一种在真空环境下,采用物理方法,将材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体在基体表面沉积的镀膜技术,主要分为蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜。
现如今真空镀膜技术越来越受到重视,而电路板由于形状、体积等问题没有适合装载的夹具,大部分的真空镀膜机装载夹具无法对电路板进行固定,不方便对电路板进行真空镀膜。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于真空镀膜机的装载夹具,解决了没有适合装载的夹具,大部分的真空镀膜机装载夹具无法对电路板进行固定,不方便对电路板进行真空镀膜的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于真空镀膜机的装载夹具,包括安装杆,所述安装杆的外侧固定安装有限位环,所述安装杆的外侧套接安装有外套筒,所述外套筒的外侧固定安装有螺栓一,所述外套筒的外侧固定安装有支撑杆一,所述支撑杆一的外端固定安装有固定块,所述固定块的内部固定安装有支撑杆二,所述支撑杆二的末端固定安装有固定杆,所述固定杆的上端面开设有卡槽一,所述支撑杆二的外侧套接安装有活动杆,所述活动杆的两端固定安装有螺栓四,所述活动杆的上端面开设有卡槽二,所述卡槽一的内部设置有卡块一,所述卡块一的上端面固定安装有支撑板一,所述支撑板一的上端面固定安装有螺栓二,所述卡槽二的内部设置有卡块二,所述卡块二的上端面固定安装有支撑板二,所述支撑板二的上端面螺纹安装有螺栓三。
优选的,所述限位环位于外套筒的下方,所述外套筒在安装杆的外侧套接安装有多个,所述螺栓一、支撑杆一与外套筒一一对应。
优选的,所述固定块在支撑杆一的外端固定安装有两个,所述支撑杆二与支撑杆一一一对应,所述固定杆在支撑杆二的外端固定安装有两个,所述活动杆在支撑杆二的外侧套接安装有两个,所述螺栓四与活动杆一一对应。
优选的,所述卡块一的外侧与卡槽一的内侧紧密贴合,所述卡块一在卡槽一的内部设置有多个,所述支撑板一、螺栓二与卡块一一一对应,所述螺栓二延伸至卡块一的下端面。
优选的,所述卡槽二、卡块二、支撑板二的大小与卡槽一、卡块一、支撑板一的大小相同,所述卡块二在卡槽二的内部设置有多个,所述支撑板二、螺栓三与卡块二一一对应。
优选的,所述支撑板一、支撑板二为Z形结构,所述支撑板一的下端与支撑板二的下端平齐。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、该用于真空镀膜机的装载夹具,安装有活动杆,活动杆上安装有支撑板,支撑板可以用来支撑和固定电路板,活动杆可以通过支撑杆进行移动,支撑板也可通过卡槽活动,方便对大部分的电路板进行支撑和固定;
2、该用于真空镀膜机的装载夹具,安装杆上活动安装有多个装载夹具,可通过外套筒在安装杆上移动,安装杆上的限位环可以防止外套筒脱落,方便调整上下之间的距离,便于镀膜操作。
附图说明
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