[实用新型]一种用于真空镀膜机的装载夹具有效
申请号: | 202021702893.1 | 申请日: | 2020-08-14 |
公开(公告)号: | CN213203184U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 张兴明;周鑫 | 申请(专利权)人: | 上海永容光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 何浩 |
地址: | 201600 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 装载 夹具 | ||
1.一种用于真空镀膜机的装载夹具,包括安装杆(1),其特征在于:所述安装杆(1)的外侧固定安装有限位环(2),所述安装杆(1)的外侧套接安装有外套筒(3),所述外套筒(3)的外侧固定安装有螺栓一(4),所述外套筒(3)的外侧固定安装有支撑杆一(5),所述支撑杆一(5)的外端固定安装有固定块(6),所述固定块(6)的内部固定安装有支撑杆二(7),所述支撑杆二(7)的末端固定安装有固定杆(8),所述固定杆(8)的上端面开设有卡槽一(9),所述支撑杆二(7)的外侧套接安装有活动杆(10),所述活动杆(10)的两端固定安装有螺栓四(18),所述活动杆(10)的上端面开设有卡槽二(11),所述卡槽一(9)的内部设置有卡块一(12),所述卡块一(12)的上端面固定安装有支撑板一(13),所述支撑板一(13)的上端面固定安装有螺栓二(14),所述卡槽二(11)的内部设置有卡块二(15),所述卡块二(15)的上端面固定安装有支撑板二(16),所述支撑板二(16)的上端面螺纹安装有螺栓三(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的装载夹具,其特征在于:所述限位环(2)位于外套筒(3)的下方,所述外套筒(3)在安装杆(1)的外侧套接安装有多个,所述螺栓一(4)、支撑杆一(5)与外套筒(3)一一对应。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的装载夹具,其特征在于:所述固定块(6)在支撑杆一(5)的外端固定安装有两个,所述支撑杆二(7)与支撑杆一(5)一一对应,所述固定杆(8)在支撑杆二(7)的外端固定安装有两个,所述活动杆(10)在支撑杆二(7)的外侧套接安装有两个,所述螺栓四(18)与活动杆(10)一一对应。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的装载夹具,其特征在于:所述卡块一(12)的外侧与卡槽一(9)的内侧紧密贴合,所述卡块一(12)在卡槽一(9)的内部设置有多个,所述支撑板一(13)、螺栓二(14)与卡块一(12)一一对应,所述螺栓二(14)延伸至卡块一(12)的下端面。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的装载夹具,其特征在于:所述卡槽二(11)、卡块二(15)、支撑板二(16)的大小与卡槽一(9)、卡块一(12)、支撑板一(13)的大小相同,所述卡块二(15)在卡槽二(11)的内部设置有多个,所述支撑板二(16)、螺栓三(17)与卡块二(15)一一对应。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的装载夹具,其特征在于:所述支撑板一(13)、支撑板二(16)为Z形结构,所述支撑板一(13)的下端与支撑板二(16)的下端平齐。
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