[实用新型]流体测量治具

说明书

本实用新型提供了一种流体测量治具，包括：升降底座、称重测量仪和承载容器，所述升降底座位于所述称重测量仪的底部并可调节所述称重测量仪的高度，所述承载容器位于所述称重测量仪上。升降底座可调节所述称重测量仪的高度，使其根据机台实际量测需求来调整到不同高度进行流体的体积测量；变量筒测量为称重测量仪测量，提高测量精度；所述承载容器设置于所述称重测量仪上方，流体置于承载容器上即可测量，不需再转入量筒测量，减少了作业时间和物料消耗，操作方便，测量速度快，提升了作业效率。

技术领域

本实用新型属于集成电路制造技术领域，具体涉及一种流体测量治具。

背景技术

集成电路制造工艺中，常用到试剂，例如光刻胶、显影液等流体，光刻胶从喷嘴喷出的流量是否正常，由于单位时间内流出的体积(流量)乘以作业时间等于流出体积，因此常通过测量流体流出的体积监控流量是否正常。在试剂配料时，也需要量测试剂的体积。

现有液体体积测量工具(如量筒等)精度不足，测量误差较大；无法满足工艺过程位置量测需求，影响机台流量校准的准确性。另承载容器兼容性不佳,设备人员作业起来费时费力。

一方面，机台小流量的体积测量采用量筒量取，靠人眼判定数值，存在个体差异，不可控。常见量筒只能精确到小数点后一位，而机台流量精确到小数点后三位，现有工具精度太低。

另一方面，无法满足光刻胶喷嘴工艺位置量测需求，光刻胶喷嘴位置高度较低，现有量筒治具无法测量，易造成物料浪费。

再一方面，流体承载容器兼容性差，操作不便，使用费时费力。量测显影液体积，机台大流量的体积测量采用承载容器接取，再倒入量筒内读取体积。不同种类喷嘴需要不同的承载容器，倾倒过程中容易发生液体滴落，操作不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种流体测量治具，可根据机台实际量测需求来调整到不同高度进行流体测量，提高测量精度，方便操作，提升作业效率。

本实用新型提供一种流体测量治具，包括：

升降底座、称重测量仪和承载容器，所述升降底座位于所述称重测量仪的底部并可调节所述称重测量仪的高度，所述承载容器位于所述称重测量仪上。

进一步的，所述升降底座包括：套筒、活动柱和限位销，所述套筒固定在所述称重测量仪的底部，所述活动柱套设在所述套筒内，所述套筒相对于所述活动柱的高度可调。

进一步的，所述活动柱沿垂向设置有间隔分布的多个第一开孔，所述套筒设置有至少一个第二开孔，所述第二开孔与所述第一开孔通过限位销固定，以实现所述套筒的高度调节。

进一步的，所述活动柱的底部设置有旋钮，所述旋钮带动所述活动柱在所述套筒内旋转。

进一步的，所述称重测量仪包括：称重传感器、数据处理模块和显示模块。

进一步的，所述称重传感器用于测量被测流体的质量，所述数据处理模块根据所述被测流体的密度和质量计算所述被测流体的体积，所述显示模块显示所述被测流体的体积。

进一步的，所述称重测量仪还包括：充电模块，所述充电模块与所述数据处理模块电连接。

进一步的，所述承载容器具有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有子容器。

进一步的，所述承载容器的材质包括：特氟隆。

进一步的，所述称重测量仪顶部设置有第二凹槽，所述承载容器位于所述第二凹槽中。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：