[实用新型]一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧，将本治具装配预紧完成，然后将Dome从上托架口放入治具内至Dome下端接触矩形弹簧，调整Dome的下环面至上托架的装配槽口内，然后在将双手从上托架1上的两个抓取槽中拿出来，这样Dome就被平稳的固定在治具内完成下一步的清洗作业和周转运输。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具。

背景技术

目前在对半导体设备CVD装置Dome部件进行洗净再生过程中，需要采用喷砂去膜和人工打磨的作业方式去除部件表面残膜及其他杂质，但是由于Dome部件体积和重量非常的大、表面又比较光滑再加上本身是陶瓷易碎的因素在对其作业和周转的过程显得非常的困难，也会带来很大的清洗风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧。

优选的，上托架上设有抓取槽。

优选的，上托架为圆形，内径小于Dome部件下环面外径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.固定Dome是利用上托架托住Dome的下环面，底部用矩形弹簧承托住Dome底端，这样就能非常稳定的固定住Dome，且下方的矩形弹簧也可以保护Dome整体不受硬压力；

2.上托架采用的是铝材质，且两头开了抓取槽，在保证与Dome接触的下环面不受硬压力之外也很好的解决了作业过程中的取放问题；

3.支撑螺杆和连接螺杆的使用使得整个结构具有预紧功能，且使得后期零部件的更换和调节更加的简单便捷。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型效果图；

图3为图1的俯视图。

图中：1上托架，2连接螺杆，3矩形弹簧，4底座，5支撑螺杆，6中间支座，7凹槽，8抓取槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备CVD 装置Dome部件清洗保护治具，包括底座4、上托架1、支撑螺杆5和中间支座6，所述上托架1通过连接螺杆2固定在底座4上方，底座4上表面设有凹槽7，凹槽7内设有支撑螺杆5，支撑螺杆5一端连接凹槽7侧壁，另一端连接凹槽7中心位置的中间支座6，中间支座6上还设有矩形弹簧3。

上托架1上设有抓取槽8，上托架1为圆形，内径小于Dome部件下环面外径。