[实用新型]具有多阶应力集中区的压力传感器

权利要求书

1.一种具有多阶应力集中区的压力传感器，其特征在于，包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；其中，

所述衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，所述第一表面上设置有所述压力敏感单元；

所述绝缘钝化层设置在所述压力敏感单元背离所述衬底的一侧，所述绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的金属化过孔，所述导线层设置在所述绝缘钝化层背离所述衬底的一侧，所述导线层通过所述金属化过孔与所述压力敏感单元电连接；并且，

所述绝缘钝化层上还设置有多阶应力集中区，所述多阶应力集中区与所述压力敏感单元相对应，以在所述压力敏感单元处产生应力集中。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述多阶应力集中区包括多个应力集中台阶，所述多个应力集中台阶沿所述绝缘钝化层的长度方向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，在所述多个应力集中台阶中，靠近所述压力敏感单元的应力集中台阶的厚度小于远离所述压力敏感单元的应力集中台阶的厚度。

4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述多个应力集中台阶的厚度自靠近所述压力敏感单元的一侧向远离所述压力敏感单元的一侧依次递增。

5.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述衬底包括底座和基底，所述基底设置在所述底座上，所述基底上设置有所述空腔，所述底座上设置有应力释放结构。

6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述底座的横截面呈倒梯形结构，所述倒梯形结构形成所述应力释放结构。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括刻蚀停止层，所述刻蚀停止层夹设在所述衬底与所述压力敏感单元之间。