[实用新型]一种多级行星旋转镀膜机构

说明书

本实用新型提供一种多级行星旋转镀膜机构，包括第一级固定齿轮、行星转盘、第一级行星齿轮单元、第一级行星旋转传动装置、第一级行星旋转工作盘、第二级固定齿轮、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘，所述第二级固定齿轮与所述行星转盘固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘上且分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。通过本实用新型，增加了被镀膜工件表面各点的运动轨迹维度，使得被镀膜工件表面各点在真空室内的运动所覆盖范围更广，提高了被镀膜工件表面的镀膜均匀性。

技术领域

本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种多级行星旋转镀膜机构。

背景技术

在使用真空镀膜设备对工件进行镀膜的过程中，将多个工件安装在工件盘上，通过驱动机构和传动机构带动工件盘转动，从而带动多个工件在真空室内沿一定运行轨道运动，实现工件表面镀膜。现有的传动机构为行星轮式传动，如图1所示，固定齿轮01与真空室壁固定连接，固定齿轮01下方设置有行星转盘03，行星转盘02中央与驱动装置的输出轴固定连接，行星转盘03上可转动地安装有多个行星齿轮02，多个行星齿轮02均围绕在固定齿轮01外周并与固定齿轮01啮合，每个行星齿轮02下端通过行星旋转传动装置04传动连接有工作盘05，每个工作盘05还同时与行星转盘2固定连接。镀膜过程中，驱动装置的输出轴驱动行星转盘03转动，带动工作盘05公转，多个行星齿轮02 围绕固定齿轮01转动，由于啮合作用，多个行星齿轮02还同步进行自转运动，再通过行星旋转传动装置04带动工作盘05同步进行自转。

每个工作盘05上均安装有多个工件，由于采用该单级公自转旋转系统，工件表面的每个点只能按照行星转盘03和工作盘05产生的两个维度的轨迹运动，运动所覆盖的区域有限，由于真空室内各处的镀膜材料分布不均，使得被镀膜工件的镀膜均匀性较差。例如图1所示的具有凹面或凸面形状的工件，工件上的A点永远在外圈，B点永远在内圈，导致两点镀膜程度不同，影响工件镀膜均匀性。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种能够提高工件镀膜均匀性的多级行星旋转镀膜机构。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，一种多级行星旋转镀膜机构，包括：第一级固定齿轮、行星转盘、第一级行星齿轮单元、第一级行星旋转传动装置和第一级行星旋转工作盘，多个所述第一级行星齿轮单元固定于所述行星转盘上且分布为均可与所述第一级固定齿轮啮合，所述第一级行星齿轮单元与所述第一级行星旋转工作盘可一体转动地连接，其特征在于：还包括第二级固定齿轮、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘，所述第二级固定齿轮与所述行星转盘固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘上且分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。

由于增加了第二级行星旋转传动结构，将第二级固定齿轮与行星转盘固定连接，将第一级行星旋转工作盘与第一级行星齿轮单元传动连接，通过在第一级新型旋转工作盘上设置与第二级固定齿轮啮合的第二级行星齿轮单元，使得镀膜机构工作过程中，第二级行星齿轮单元的自转可以带动与其固定连接第二级行星旋转工作盘转动，实现了第二级行星旋转工作盘上安装工件的转动，增加了被镀膜工件表面各点的运动轨迹维度，提高了镀膜均匀性。

进一步地，本实用新型的多级行星旋转镀膜机构，所述第二级固定齿轮为外齿轮，所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮的外周齿啮合。

进一步地，本实用新型的多级行星旋转镀膜机构，所述第二级固定齿轮为内齿轮，所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮的内周齿啮合。

进一步地，本实用新型的多级行星旋转镀膜机构，所述第二级行星齿轮单元为单个第二级行星齿轮，多个所述第二级行星齿轮分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，且多个所述第二级行星齿轮分别与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。