[实用新型]一种多级行星旋转镀膜机构

权利要求书

1.一种多级行星旋转镀膜机构，包括：第一级固定齿轮(16)、行星转盘(15)、第一级行星齿轮单元(17)、第一级行星旋转传动装置和第一级行星旋转工作盘(21)，多个所述第一级行星齿轮单元(17)固定于所述行星转盘(15)上且分布为均可与所述第一级固定齿轮(16)啮合，所述第一级行星齿轮单元(17)与所述第一级行星旋转工作盘(21)可一体转动地连接，其特征在于：还包括第二级固定齿轮(20)、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘(28)，所述第二级固定齿轮(20)与所述行星转盘(15)固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘(21)上且分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘(28)可一体转动地连接。

2.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第二级固定齿轮(20)为外齿轮，所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)的外周齿啮合。

3.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第二级固定齿轮(20)为内齿轮，所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)的内周齿啮合。

4.如权利要求2或3所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第二级行星齿轮单元为单个第二级行星齿轮(22)，多个所述第二级行星齿轮(22)分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)啮合，且多个所述第二级行星齿轮(22)分别与所述第二级行星旋转工作盘(28)可一体转动地连接。

5.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第二级固定齿轮(20)与所述行星转盘(15)通过角度调节装置(19)固定连接，所述角度调节装置(19)包括第一连接架(192)和第二连接架(193)，所述第一连接架(192)一端与所述行星转盘(15)固定连接，所述第二连接架(193)一端与所述第二级固定齿轮(20)固定连接，所述第一连接架(192)与所述第二连接架(193)之间通过销轴(195)可枢转连接。

6.如权利要求5所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第一连接架(192)包括平行设置的一对第一侧壁，所述第二连接架(193)包括平行设置的一对第二侧壁，所述一对第一侧壁、一对第二侧壁上分别对应设置有通孔，销轴(195)同轴穿设于所述通孔，实现所述第一连接架(192)与所述第二连接架(193)之间可枢转连接，所述一对第一侧壁上分别开设有一对相对应的弧形槽(198)，所述第二连接架(193)设置有两端穿设于所述弧形槽(198)的导向销(197)，一对所述弧形槽(198)内还穿设有角度定位螺栓(196)。

7.如权利要求6所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第一连接架(192)上转动设置有与所述第一级行星齿轮单元(17)可一体转动连接的第一斜齿轮(181)，所述第二连接架(193)上转动设置有与所述第一级行星旋转工作盘(21)可一体转动连接的第二斜齿轮(182)，所述销轴(195)上转动设置有分别与所述第一斜齿轮(181)、第二斜齿轮(182)啮合的第三斜齿轮(183)。

8.如权利要求7所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第二连接架(193)包括连接套筒(194)，斜齿轮轴(184)通过斜齿轮轴承(185)转动支撑于所述连接套筒(194)，所述斜齿轮轴(184)一端与所述第二斜齿轮(182)固定连接，另一端穿过所述第二级固定齿轮(20)并与所述第一级行星旋转工作盘(21)固定连接。

9.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：所述第一级行星旋转工作盘(21)表面分布有多个阶梯孔(211)，所述阶梯孔(211)中固定有轴承座(26)，行星齿轮轴(24)通过行星齿轮轴承(25)转动支撑于所述轴承座(26)中，所述行星齿轮轴(24)一端与所述第二级行星齿轮单元固定连接，所述行星齿轮轴(24)另一端穿过所述阶梯孔并于所述第二级行星旋转工作盘(28)固定连接。

10.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构，其特征在于：每个所述第二级行星旋转工作盘(28)上同轴固定安装有一待镀膜工件(23)。