[实用新型]一种多级行星旋转镀膜机构有效
申请号: | 202021215721.1 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN212894954U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 闫海涛 | 申请(专利权)人: | 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人: | 杨华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多级 行星 旋转 镀膜 机构 | ||
1.一种多级行星旋转镀膜机构,包括:第一级固定齿轮(16)、行星转盘(15)、第一级行星齿轮单元(17)、第一级行星旋转传动装置和第一级行星旋转工作盘(21),多个所述第一级行星齿轮单元(17)固定于所述行星转盘(15)上且分布为均可与所述第一级固定齿轮(16)啮合,所述第一级行星齿轮单元(17)与所述第一级行星旋转工作盘(21)可一体转动地连接,其特征在于:还包括第二级固定齿轮(20)、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘(28),所述第二级固定齿轮(20)与所述行星转盘(15)固定连接,多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘(21)上且分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)啮合,所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘(28)可一体转动地连接。
2.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第二级固定齿轮(20)为外齿轮,所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)的外周齿啮合。
3.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第二级固定齿轮(20)为内齿轮,所述第二级行星齿轮单元分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)的内周齿啮合。
4.如权利要求2或3所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第二级行星齿轮单元为单个第二级行星齿轮(22),多个所述第二级行星齿轮(22)分布为均可与所述第二级固定齿轮(20)啮合,且多个所述第二级行星齿轮(22)分别与所述第二级行星旋转工作盘(28)可一体转动地连接。
5.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第二级固定齿轮(20)与所述行星转盘(15)通过角度调节装置(19)固定连接,所述角度调节装置(19)包括第一连接架(192)和第二连接架(193),所述第一连接架(192)一端与所述行星转盘(15)固定连接,所述第二连接架(193)一端与所述第二级固定齿轮(20)固定连接,所述第一连接架(192)与所述第二连接架(193)之间通过销轴(195)可枢转连接。
6.如权利要求5所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第一连接架(192)包括平行设置的一对第一侧壁,所述第二连接架(193)包括平行设置的一对第二侧壁,所述一对第一侧壁、一对第二侧壁上分别对应设置有通孔,销轴(195)同轴穿设于所述通孔,实现所述第一连接架(192)与所述第二连接架(193)之间可枢转连接,所述一对第一侧壁上分别开设有一对相对应的弧形槽(198),所述第二连接架(193)设置有两端穿设于所述弧形槽(198)的导向销(197),一对所述弧形槽(198)内还穿设有角度定位螺栓(196)。
7.如权利要求6所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第一连接架(192)上转动设置有与所述第一级行星齿轮单元(17)可一体转动连接的第一斜齿轮(181),所述第二连接架(193)上转动设置有与所述第一级行星旋转工作盘(21)可一体转动连接的第二斜齿轮(182),所述销轴(195)上转动设置有分别与所述第一斜齿轮(181)、第二斜齿轮(182)啮合的第三斜齿轮(183)。
8.如权利要求7所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第二连接架(193)包括连接套筒(194),斜齿轮轴(184)通过斜齿轮轴承(185)转动支撑于所述连接套筒(194),所述斜齿轮轴(184)一端与所述第二斜齿轮(182)固定连接,另一端穿过所述第二级固定齿轮(20)并与所述第一级行星旋转工作盘(21)固定连接。
9.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:所述第一级行星旋转工作盘(21)表面分布有多个阶梯孔(211),所述阶梯孔(211)中固定有轴承座(26),行星齿轮轴(24)通过行星齿轮轴承(25)转动支撑于所述轴承座(26)中,所述行星齿轮轴(24)一端与所述第二级行星齿轮单元固定连接,所述行星齿轮轴(24)另一端穿过所述阶梯孔并于所述第二级行星旋转工作盘(28)固定连接。
10.如权利要求1所述的多级行星旋转镀膜机构,其特征在于:每个所述第二级行星旋转工作盘(28)上同轴固定安装有一待镀膜工件(23)。
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