[实用新型]应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组

说明书

一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，包括支撑机构以及第一驱动机构。所述支撑机构能够在第三方向上被第一驱动机构驱动而将晶圆盒送入包装袋内。本实用新型实现了晶圆盒入袋的自动化、解放了人力、提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及自动化领域，尤其是一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组。

背景技术

前开式出货盒/全透明晶圆盒，可保护、运送、并储存晶圆，防止晶圆碰撞、摩擦，在运输传载及储存时提供安全防护，气密度佳，能预防微粒物质的产生。晶圆盒的具体结构一般包括收纳晶圆且尺寸较大的主体部以及凸露连接于主体部上方且尺寸较小的头部。晶圆在不同制造工厂间转移时，需要装入晶圆盒内并将晶圆盒用铝箔袋进行封装，以保证运输过程中的洁净度和湿度要求；同时还需要在晶圆盒上张贴标签进行标识，并需要将干燥剂、湿度卡等物料固定于晶圆盒上，保证晶圆存储、运输环境要求。目前主要是通过人工方式来完成上述操作，但是人工操作效率低，并且容易发生误贴漏贴、误放漏放等问题。其中，晶圆盒如何自动化入袋是重中之重。

因此，有必要提供一种新的应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，其具有将晶圆盒自动化入袋、解放人力、提高生产效率等优点。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，包括支撑机构以及第一驱动机构，所述支撑机构能够在第三方向上被第一驱动机构驱动而将晶圆盒送入包装袋内。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括输送线和第二驱动机构，所述输送线能够在第三方向上传输晶圆盒，所述支撑机构能够在与第三方向不同的第二方向上被第二驱动机构驱动且具有位于输送线下方的初始位置和位于输送线上方的顶起位置，所述支撑机构在所述顶起位置被第一驱动机构驱动。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括顶升板，所述第二驱动机构通过顶升板驱动所述支撑机构在第二方向上的运动。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括上下移动导轨副和滑动连接于上下移动导轨副上的上下移动板，所述顶升板通过上下移动板在上下移动导轨副上限位滑动。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括第一丝杠副，所述第一驱动机构通过第一丝杠副驱动所述支撑机构在第三方向上的运动。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括纵向移动导轨副，所述支撑机构滑动连接在纵向移动导轨副上。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，还包括位于包装平台上的一对夹板机构，所述一对夹板机构中的至少一个能够运动而彼此靠近。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括夹持机构，所述夹持机构位于支撑机构的外侧。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括第一挡板，所述第一挡板能够抵挡住支撑机构的末端。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，包括一对压板，所述一对压板能够于第三方向上做同向运动且能够于第二方向上做背离运动。

相较于现有技术，本实用新型应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，通过第一驱动机构驱动将晶圆盒托住的支撑机构而将晶圆盒送入包装袋内，实现了晶圆盒入袋的自动化、解放了人力、提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型应用在晶圆盒自动封装设备上的俯视图。

图2为图1中进料平台的立体组合图。

图3为图2的部分放大图。

图4为图1中包装袋储放盒的立体组合图。