[实用新型]定位测量装置、定位调节装置以及激光系统

说明书

本申请实施例提供一种定位测量装置、定位调节装置以及激光系统。所述定位测量装置包括：第1部件，其具有供入射的激光通过的第1开口，并使所述入射的激光的光束直径减小并且输出所述激光；第1光学元件，其对所述激光的至少一部分进行反射；第2部件，其被配置在所述第1部件与所述第1光学元件之间，具有供所述激光通过的第2开口；第2光学元件，其将所述第1光学元件反射的所述激光朝向所述第1光学元件进行反射；以及测量部，其对在所述第2部件上生成的光的位置进行测量。由此，能够容易地提高定位的测量精度，而不必扩大激光系统内的空间或者不必使用高灵敏度的光传感器。

技术领域

本申请涉及激光技术领域，尤其涉及一种定位测量装置、定位调节装置以及激光系统。

背景技术

在曝光用激光系统中，可以包括对激光光束进行定位测量和/或定位调节的结构。

图1是曝光用激光系统的一示意图。如图1所示，曝光用激光系统100可以包括：激光装置101、光束分离器102、角度调节部103、聚光透镜104、定位(pointing)测量部105、脉冲扩展装置(stretcher)106和曝光装置107。

例如，激光装置101输出脉冲状的激光L；光束分离器102使激光L反射并输出朝向脉冲扩展装置106的激光Lr。另外，光束分离器102可以使激光L的一部分透射并输出朝向聚光透镜104的激光Lt。角度调节部103对光束分离器102的角度进行调节。当光束分离器102的角度变化时，激光Lr和激光Lt的光路位置发生变化。

聚光透镜104将激光Lt在光传感器1051上进行聚光。聚光透镜104以光传感器1051被配置在其焦点位置处的方式，被配置在光束分离器102与光传感器1051之间。通过设置这样的关系，聚光透镜104在光传感器1051上照射点状的激光Lt。定位测量部105对激光Lt的定位进行测量，在内部具有对激光Lt的照射位置进行观测的光传感器1051。脉冲扩展装置106使激光Lr的脉冲宽度伸长，并输出朝向曝光装置107的激光Lrs。曝光装置107通过激光Lrs在半导体基板上对集成电路进行曝光。

在进行定位测量和/或定位调节时，定位测量部105根据在光传感器1051上照射的激光Lt，对作为目标的激光Lt的点位置与当前的激光Lt的点位置进行测量。可以通过角度调节部103的操作来对光束分离器102的角度进行调节。

例如，可以用作为目标的激光Lt的点位置与当前的激光Lt的点位置之间的差值，除以聚光透镜104的焦点距离，来计算定位调节的操作量。定位的控制或调节可以一直进行，直到操作量达到规定值。

激光Lt的定位与激光Lr的定位是相互依存的关系，当使激光Lt的定位发生变化时，激光Lr的定位也发生变化。利用这种关系，可以将激光Lr位于最佳定位时的激光Lt的点位置定义成目标值，并且按照接近该目标值的方式改变光束分离器102的角度，从而对定位进行调节。

但是，在通过伸长脉冲宽度来将脉冲激光输出给曝光装置的曝光用激光系统中，由于光束分离器与曝光装置之间的光路较长，因此需要以较高的精度进行定位调节。为了以较高的精度进行定位调节，需要以较高的精度进行定位测量。为了以较高的精度进行定位测量，需要使用焦点距离较长的聚光透镜对激光Lt进行聚光，或者需要通过配置多个镜子来延长光路从而替代聚光透镜。不论哪种情况，都需要延长激光Lt的光路的结构和空间。

应当注意，上面对背景技术的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为了解决上述问题的至少之一，本申请实施例提供一种定位测量装置、定位调节装置以及激光系统。

根据本申请实施例的一方面，提供了一种定位测量装置，包括：