[实用新型]定位测量装置、定位调节装置以及激光系统

权利要求书

1.一种定位测量装置，其特征在于，所述定位测量装置包括：

第1部件，其具有供入射的激光通过的第1开口，使所述入射的激光的光束直径减小并且输出所述激光；

第1光学元件，其对所述激光的至少一部分进行反射；

第2部件，其被配置在所述第1部件与所述第1光学元件之间，具有供所述激光通过的第2开口；

第2光学元件，其将所述第1光学元件反射的所述激光朝向所述第1光学元件进行反射；其中，反射回所述第1光学元件的所述激光朝向所述第2部件照射，并且所述第2部件对来自所述第1光学元件的所述激光产生反应并生成波长与所述激光不同的光；以及

测量部，其对在所述第2部件上生成的光的位置进行测量。

2.根据权利要求1所述的定位测量装置，其特征在于，所述第1开口和所述第2开口呈孔状，所述第1开口的直径比所述第2开口的直径小。

3.根据权利要求1所述的定位测量装置，其特征在于，所述第2部件是荧光板；在所述第2部件上生成的光为波长与所述激光的波长不同的荧光。

4.根据权利要求1所述的定位测量装置，其特征在于，所述定位测量装置还包括：

转移光学元件，其设置在所述第1光学元件与所述测量部之间；所述转移光学元件将在所述第2部件上生成的光引导到所述测量部。

5.根据权利要求1所述的定位测量装置，其特征在于，所述第1光学元件是光束分离器，所述光束分离器还对所述入射的激光的一部分进行透射。

6.根据权利要求1所述的定位测量装置，其特征在于，所述测量部从在所述第2部件上生成的光的多个位置中设定作为基准的光的位置；以及对所述作为基准的光的位置与其他测量出的光的位置之间的差进行测量。

7.一种定位调节装置，其特征在于，所述定位调节装置包括：

如权利要求1至6任一项所述的定位测量装置，以及

调节部，其对所述定位测量装置中的第1光学元件进行调节。

8.根据权利要求7所述的定位调节装置，其特征在于，所述调节部对所述第1光学元件的配置角度或配置位置进行调节。

9.根据权利要求7所述的定位调节装置，其特征在于，所述定位调节装置还包括：

控制部，其根据所述定位测量装置测量出的光的位置对所述调节部进行操作；

其中，所述控制部从在所述定位测量装置中的第2部件上生成的光的多个位置中设定作为基准的光的位置，以及根据所述作为基准的光的位置与其他测量出的光的位置之间的差，对所述调节部进行控制。

10.一种激光系统，其特征在于，所述激光系统包括：

如权利要求1至6任一项所述的定位测量装置，以及

激光装置，其向所述定位测量装置输出激光。