[实用新型]一种PN结扩散或钝化用单峰高温的加热炉

权利要求书

1.一种PN结扩散或钝化用单峰高温的加热炉，该加热炉具有温度控制设备，加热炉主体为炉管，炉管一端为硅片进口，另一端为硅片出口，炉管的硅片进口端和出口端为低温区，中部为高温区；

温度控制设备为加热丝，沿炉管的长度方向至少包括3段不同缠绕间隔的加热丝；

第一段加热丝的缠绕间隔：第二段加热丝的缠绕间隔：第三段加热丝的缠绕间隔为2-3:1-2:2-3。

2.根据权利要求1所述的加热炉，其中，第一段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm，第二段加热丝的缠绕间隔为10mm-15mm，第三段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm。

3.根据权利要求1所述的加热炉，其中，第一段加热丝的缠绕间隔为10mm-15mm，第二段加热丝的缠绕间隔为5mm-10mm，第三段加热丝的缠绕间隔为10mm-15mm。

4.根据权利要求1所述的加热炉，其中，第一段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm，第二段加热丝的缠绕间隔为5mm-10mm，第三段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm。

5.根据权利要求1所述的加热炉，其中，沿炉管的长度方向设置5段不同缠绕间隔的加热丝，第一段加热丝的缠绕间隔：第二段加热丝的缠绕间隔：第三段加热丝的缠绕间隔：第四段加热丝的缠绕间隔：第五段加热丝的缠绕间隔为3-4:2-3:1-2:2-3:3:4。

6.根据权利要求5所述的加热炉，其中，第一段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm，第二段加热丝的缠绕间隔为10mm-15mm，第三段加热丝的缠绕间隔为5mm-10mm，第四段加热丝的缠绕间隔为10mm-15mm，第五段加热丝的缠绕间隔为15mm-20mm。

7.根据权利要求1所述的加热炉，其中，加热设备为加热丝，沿炉管的长度方向至少包括3段不同粗细的加热丝；第一段加热丝的切面直径：第二段加热丝的切面直径：第三段加热丝的切面直径比为2-3:1-2:2-3。

8.根据权利要求7所述的加热炉，其中，加热丝的切面直径为5mm-10mm。

9.根据权利要求1所述的加热炉，其中，加热丝覆盖的加热区域的总长度为炉管总长度的1/3-3/4。

10.根据权利要求1所述的加热炉，其中，该加热炉每次至少同时处理200片硅片。