[实用新型]垂直方向位置及距离校准机构

权利要求书

1.垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，包括基板和支撑台，所述支撑台垂直固定于基板上，所述基板上固定有一移动平台，移动平台位于支撑台侧方，移动平台上设置有压力触头，移动平台可带动压力触头在水平面内移动；

所述支撑台上设置有Z轴运动滑台，Z轴运动滑台上固定有支架，Z轴运动滑台驱动支架沿Z轴方向运动，所述支架上固定有吸嘴和针嘴，吸嘴和针嘴随支架沿Z轴方向运动；

所述支架上还设置有上压力传感器，压力触头下方设置有下压力传感器，上压力传感器和下压力传感器分别通过电缆连接于上位机电脑。

2.如权利要求1所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述上压力传感器通过电缆连接有上压力模拟量放大器，上压力模拟量放大器通过电缆连接于上位机电脑。

3.如权利要求2所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述下压力传感器通过电缆连接有下压力模拟量放大器，下压力模拟量放大器通过电缆连接于上位机电脑。

4.如权利要求3所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述上压力传感器和下压力传感器均采用高精度压力传感器。

5.如权利要求1所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述Z轴运动滑台顶部设置有马达，马达通过电缆连接有驱动器，驱动器通过电缆连接于上位机电脑。

6.如权利要求5所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述Z轴运动滑台包括一安装板，所述安装板固定于支撑台侧部。

7.如权利要求6所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述安装板另一侧设置有Z轴滑轨，Z轴滑轨上滑动连接有滑动板，滑动板沿Z轴方向滑动。

8.如权利要求7所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述安装板上还设置有Z轴滚珠丝杆，Z轴滚珠丝杆外部螺纹连接有滚珠螺母，Z轴滚珠丝杆通过转动驱动滚珠螺母沿Z轴方向运动。

9.如权利要求8所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述滑动板与滚珠螺母固定连接，随滚珠螺母沿Z轴方向运动，所述支架固定于滑动板一侧，随滑动板沿Z轴方向运动。

10.如权利要求8所述的垂直方向位置及距离校准机构，其特征在于，所述马达的输出端与Z轴滚珠丝杆上端连接，马达驱动Z轴滚珠丝杆转动。