[实用新型]一种碳化硅晶体打磨装置有效
申请号: | 202020721200.7 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN211966998U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 么靓;刘亚坤;张平;邹宇 | 申请(专利权)人: | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B47/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张博 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体 打磨 装置 | ||
1.一种碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置,其中,
所述打磨轮转动的设置在所述底座上,
所述支撑杆固定在所述底座上,所述水平杆移动的设置在所述支撑杆上,所述固定杆设置在所述水平杆上,所述夹持装置设置在所述固定杆上,
所述夹持装置上夹持住的碳化硅晶体朝向所述打磨轮,所述水平杆在所述支撑杆上移动时带动所述碳化硅晶体朝向或远离所述打磨轮移动。
2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述底座上开设有凹槽,所述打磨轮设置在所述凹槽中。
3.根据权利要求1所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述打磨轮通过旋转轴与所述底座连接。
4.根据权利要求1所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述夹持装置包括安装杆、弹性伸缩杆和夹板,其中,
所述安装杆的一端与所述固定杆连接,其另一端与所述弹性伸缩杆的中部连接,所述弹性伸缩杆的两端各设置有所述夹板,
所述弹性伸缩杆给予夹持力通过所述夹板夹持所述碳化硅晶体。
5.根据权利要求4所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述弹性伸缩杆包括依次连接的第一杆体、第一弹性装置、第二杆体、第二弹性装置和第三杆体,
所述安装杆的另一端与所述第二杆体连接。
6.根据权利要求5所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述第一弹性装置和所述第二弹性装置的结构相同,
所述第一弹性装置包括弹簧和套设在所述弹簧上的套管,所述套管的两端分别沿所述第一杆体和所述第二杆体滑移。
7.根据权利要求4所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述弹性伸缩杆为多个且绕同一圆心呈夹角设置。
8.根据权利要求4所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述安装杆与所述固定杆插接后通过位于侧面的螺丝固定。
9.根据权利要求1所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述支撑杆为竖直杆。
10.根据权利要求1所述的碳化硅晶体打磨装置,其特征在于,所述固定杆和所述夹持装置均为多个且沿所述水平杆的长度方向间隔设置。
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