[实用新型]特种工件镀膜控制系统有效

专利信息
申请号: 202020614931.1 申请日: 2020-04-22
公开(公告)号: CN213086106U 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 李星;钟玉盛;姜翠宁 申请(专利权)人: 广东生波尔光电技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/54;C23C14/50
代理公司: 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 石仁
地址: 528400 广东省中山市板芙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 特种 工件 镀膜 控制系统
【权利要求书】:

1.一种特种工件镀膜控制系统,其特征在于,至少包括:

主控制单元;

90°翻转输送驱动单元,与主控制单元电连接,用于在主控制单元的控制下,驱动90°翻转装置对工件进行90°翻转,并输送至缓冲传送工位;

自动抓取移载驱动单元,与主控制单元电连接,用于在主控制单元的控制下,驱动自动抓取移载装置移动至缓冲传送工位抓取工件,并移载至180°翻转装置;或者驱动自动抓取移载装置移动至组合工位抓取工件,并移载至180°翻转装置;

180°翻转驱动单元,与主控制单元电连接,用于在主控制单元的控制下,驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第一次180°翻面;或者驱动180°翻转装置对移载至其上的工件进行第二次180°翻面;

自动控制系统,与主控制单元电连接,用于在主控制单元的控制下,控制四工位平移升降装置;

真空镀膜控制系统,与主控制单元电连接,用于在主控制单元的控制下,控制真空镀膜设备对工件进行镀膜。

2.如权利要求1所述的特种工件镀膜控制系统,其特征在于,自动控制系统至少包括:

第一控制单元;

工作状态接收单元,与第一控制单元电连接,用于接收工作状态信号,并发送至第一控制单元;

行走驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动行走平台沿下平台前后移动至指定位置;

升降驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动起升架带动下层传动平台和上层传动平台向上升起或向下复位;

传动驱动单元,与第一控制单元电连接,用于根据工作状态信号,在第一控制单元的控制下,驱动各传动平台正向或反向传动。

3.如权利要求1或2所述的特种工件镀膜控制系统,其特征在于,真空镀膜控制系统至少包括:

第二控制单元;

翻板阀启闭驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动翻板阀向上翻转,以打开进出片室,供工件送入;或者驱动翻板阀向下翻转,以在工件送入后关闭进出片室,隔断外部环境;

传送驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动传送机构运转,以使工件可被传送出入进出片室、工艺室、静放室、在第一工艺室来回往复式移动、以及在第二工艺室来回往复式移动;

第一泵组驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动第一泵组启动,以使进出片室进入抽真空状态;

第一插板阀启闭驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动第一插板阀的开启或关闭,以使进出片室与工艺室连通或隔断,供工件送入第一工艺室和/或第二工艺室;

第二泵组驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动第二泵组启动,以使第一工艺室和第二工艺室进入抽真空镀膜状态;

离子源启动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源,开始离子源联动;

中频电源启动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源,开始中频联动;

第二插板阀启闭驱动单元,与第二控制单元电连接,用于在第二控制单元的控制下,驱动第二插板阀的开启或关闭,以使工艺室与静放室连通或隔断。

4.如权利要求3所述的特种工件镀膜控制系统,其特征在于,90°翻转装置包括:

支撑底架,

翻转调节夹紧组件,设于支撑底架上,可在夹紧完成清洗并以竖直状态输送而来的工件后相对支撑底架从竖直状态翻转至水平状态;

升降调节传输组件,设于支撑底架上,可相对支撑底架上下升降以承接翻转至水平状态的正面朝上的工件,并将工件输送至下一工位。

5.如权利要求4所述的特种工件镀膜控制系统,其特征在于,自动抓取移载装置包括:

移载平台,与底架相配合,可沿底架来回自由移动;

抓取平台,设于移载平台下方,可相对移载平台上下升降;

夹具,成对设于抓取平台下方,可沿抓取平台相互靠近或相互远离,从而实现对工件的夹紧或松开。

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