[实用新型]特种工件真空镀膜控制系统

说明书

本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插板阀的开启或关闭；第二泵组驱动单元，驱动第二泵组启动；离子源启动单元，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源；中频电源启动单元，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源；第二插板阀启闭驱动单元，驱动第二插板阀的开启或关闭。本实用新型实施例，通过真空镀膜控制系统，至少可按镀膜工序的要求实现对真空镀膜设备的全自动化控制，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

技术领域：

本实用新型涉及一种控制系统，尤其是一种在真空环境下对工件正反面全自动化镀膜的控制系统。

背景技术：

随着科技的进步，对材料的加工处理技术，尤其是表面镀膜技术的要求也越来越高，而国内外的常规镀膜设备，其镀膜控制系统自动化程度较低，在镀膜过程中存在温升高造成工件表面变形的缺陷。

发明内容：

为克服现有镀膜设备的镀膜控制系统自动化程度较低的问题，本实用新型实施例提供了一种特种工件真空镀膜控制系统。

一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：

第二控制单元；

翻板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动翻板阀向上翻转，以打开进出片室，供工件送入；或者驱动翻板阀向下翻转，以在工件送入后关闭进出片室，隔断外部环境；

传送驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动传送机构运转，以使工件可被传送出入进出片室、工艺室、静放室、在第一工艺室来回往复式移动、以及在第二工艺室来回往复式移动；

第一泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一泵组启动，以使进出片室进入抽真空状态；

第一插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第一插板阀的开启或关闭，以使进出片室与工艺室连通或隔断，供工件送入第一工艺室和/或第二工艺室；

第二泵组驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二泵组启动，以使第一工艺室和第二工艺室进入抽真空镀膜状态；

离子源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源，开始离子源联动；

中频电源启动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源，开始中频联动；

第二插板阀启闭驱动单元，与第二控制单元电连接，用于在第二控制单元的控制下，驱动第二插板阀的开启或关闭，以使工艺室与静放室连通或隔断。

本实用新型实施例，通过真空镀膜控制系统，至少可按镀膜工序的要求实现对真空镀膜设备的全自动化控制，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的特种工件镀膜设备及辅助设备的示例性布局示意图；

图2为本实用新型实施例的特种工件镀膜控制系统的示例性原理框图；

图3为本实用新型实施例的90°翻转装置的结构示意图；