[实用新型]一种用于沉积石英玻璃载物拉引的制坨机有效

专利信息
申请号: 202020479680.0 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN212293307U 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 简清云;徐凤翔;唐俊;杨先龙;陈欣伟 申请(专利权)人: 四川阿尔法能源装备有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 代理人: 沈成金
地址: 621000 四川省绵阳市江油市江*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 沉积 石英玻璃 载物拉引 制坨机
【说明书】:

实用新型涉及机械设备技术领域,具体公开了一种用于沉积石英玻璃载物拉引的制坨机,包括机架,机架上设置有升降机构,升降机构驱动承载台架在机架上上下移动,承载台架上水平设置有摆动直线导轨,摆动直线导轨上滑动设置有滑块,承载台架内设置有摆动减速电机,摆动减速电机的输出端连接有摆动丝杆,滑块固定在固定板的底部,固定板的底部固定有摆动丝杆螺母,承载台架顶部设置有摆动隔热板,旋转减速电机的输出端连接有旋转轴,旋转轴的顶部设置有夹具体,夹具体内腔的底端设置有软垫板;夹具体的顶部设置有环形的旋转隔热板。本实用新型的优点是通过设置多个散热风机配合在承载台架和夹具体顶部设置的隔热板,确保装置在高温下工作的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域,特别是一种用于沉积石英玻璃载物拉引的制坨机。

背景技术

石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成,其具有特殊的光谱透过性能,热膨胀系数低,是普通玻璃的1/10-1/20、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀,线膨胀系数极小,有很好的抗热震性。它的耐热性很高,经常使用温度为1100~1200摄氏度,短期使用温度可达1400摄氏度,由于它具有高的光谱透射,不会因辐射线损伤,因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。石英玻璃在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸和光学均匀性要求的不断提高,研制大尺寸、高均匀石英玻璃的需求剧增。

石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。用光学均匀性数值及分布图可表征材料内部折射率不均匀的程度。若玻璃存在光学不均匀,则光通过介质后会产生相位差,可导致光学系统无法实现预期功能,甚至无法工作。

石英玻璃制坨机是石英玻璃生产的关键设备,其结构及性能直接影响石英玻璃的尺寸和光学均匀性。合成石英玻璃是以含硅前驱体(通常采用SiCl4 )为原料,在氢氧焰中发生水解或氧化反应生成SiO2 纳米颗粒,沉积并熔融于石英玻璃基底表面制备而成。

现有技术中公开的制坨机存在以下缺陷:由于沉积炉炉口温度高,而现有制坨机对夹具单元及旋转支撑结构的隔热效果差,容易导致设备故障率高、运行精度低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种用于沉积石英玻璃载物拉引的制坨机。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种用于沉积石英玻璃载物拉引的制坨机,包括机架,所述机架上设置有升降机构,所述机架上还设置有承载台架,所述升降机构驱动承载台架在机架上上下移动,所述承载台架上水平设置有摆动直线导轨,所述的摆动直线导轨上滑动设置有滑块,所述的承载台架内设置有摆动减速电机,所述摆动减速电机的输出端连接有摆动丝杆,所述滑块固定在固定板的底部,所述固定板的底部固定有摆动丝杆螺母,所述摆动丝杆螺母与所述摆动丝杆螺纹传动连接,所述的承载台架的顶部设置有摆动隔热板;

所述固定板上设置有旋转减速电机,所述旋转减速电机的输出端连接有旋转轴,所述旋转轴的顶部设置有中空的夹具体,所述固定板上设置有回转支承,所述夹具体的底部固定在回转支承上,旋转减速电机带动夹具体转动与固定板产生相对转动,所述夹具体内腔的底端设置有软垫板;

所述夹具体的顶部设置有环形的旋转隔热板。

具体的,所述升降机构包括双输入涡轮蜗杆减速机,所述双输入涡轮蜗杆减速机的一输入端连接快速驱动电机的输出端,其另一个输入端连接慢速驱动电机组件,所述机架上左右两侧均设置有升降直线导轨,所述双输入涡轮蜗杆减速机的输出端连接有升降丝杆,所述的升降丝杆上螺纹传动连接有升降丝杆螺母,所述升降丝杆螺母固定在滑动连接板上,所述滑动连接板的两端设置有滑动块与升降丝杆滑动连接,所述的承载台架固定在所述滑动连接板上。

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