[实用新型]一种硅片运输用批量化堆叠装置

权利要求书

1.一种硅片运输用批量化堆叠装置，包括中间固定座，其特征在于，所述中间固定座的下面设置有升降装置，中间固定座的上面配合安装有固定框架，所述固定框架的侧面配合设置堆叠组件，所述升降装置上设置有升降杆，升降杆穿过中间固定座并位于固定框架之间的位置，升降杆上配合设置有顶撑托盘组件，所述顶撑托盘组件位于固定框架之间；所述顶撑托盘组件与中间固定座之间还设置有硅片托盘放置部，所述固定框架的内侧边框上设置有托盘固定部，所述顶撑托盘组件上设置有托盘。

2.根据权利要求1所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于：所述固定框架包括左侧框架和右侧框架，左侧框架和右侧框架自上到下间隔安装有若干组支撑，其中一组支撑分别位于左侧框架和右侧框架的中间位置。

3.根据权利要求1所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于：所述堆叠组件包括左侧堆叠组件和右侧堆叠组件，左侧堆叠组件安装在左侧框架处，右侧堆叠组件安装在右侧框架处；所述左侧堆叠组件和右侧堆叠组件包括升降气缸，设置在升降气缸上面的提升装置，配合提升装置设置的提升固定装置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于： 所述升降气缸直接固定在中间固定座上，升降气缸的升降连杆直接朝上设置；所述提升装置包括安装在升降连杆上的矩形连接块、横向穿过矩形连接块的转动轴，分别设置在转动轴两侧的转动座；所述矩形连接块位于转动轴的中心位置。

5.根据权利要求4所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于： 所述矩形连接块的一端与升降气缸的升降连杆连接，矩形连接块的另一端与转动轴连接在一起。

6.根据权利要求4所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于：所述转动座呈L形设置，转动座的上面配合设置有卡槽。

7.根据权利要求1所述的一种硅片运输用批量化堆叠装置，其特征在于：所述托盘的四个角落下方设置有固定孔，托盘四个角落上方设置有固定杆。