[实用新型]一种真空镀膜用的阴极弧光离子源

权利要求书

1.一种真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，包括相连接的离子源本体和直管过滤机构；

所述离子源本体包括外壳、引弧装置、与气源连通的气管、设置在外壳内部的中空阴极、设置在外壳外部的永磁体、用于冷却所述中空阴极的第一冷却机构；

所述直管过滤机构包括一端与真空镀膜室连接的直管、磁场调节机构，所述磁场调节机构包括套设在所述直管外面的电磁铁；

所述中空阴极为一端封闭的圆管状，所述引弧装置和气管均设置在中空阴极的封闭端处并与所述中空阴极的中空部连通；所述中空阴极的开口端与所述直管的另一端连接，所述中空阴极的中空部分与所述直管的中空部分相连通且两者的轴心线重合。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述直管过滤机构还包括用于冷却所述直管的第二冷却机构。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述第一冷却机构设置在所述外壳与中空阴极之间。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述第一冷却机构为由所述外壳的内壁与中空阴极的外部构成的冷却水循环通道，所述冷却水循环通道两端分别设有进水口和出水口。

5.根据权利要求2所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述直管的管壁为夹层结构，所述第二冷却机构为设置在所述夹层结构的冷却水循环通道。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述离子源本体与所述直管过滤机构可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述中空阴极与所述直管通过法兰实现可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述直管为的长度为50～200mm。

9.根据权利要求1或8所述的真空镀膜用的阴极弧光离子源，其特征在于，所述中空阴极的长度为50～150mm。