[实用新型]一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体有效
| 申请号： | 202020067537.0 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN211644591U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 汤忠喜;王协彬 | 申请（专利权）人： | 探普（南京）工业科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 石磊 |
| 地址： | 211500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 团簇束流 沉积 超高 空腔 | ||
1.一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体，包括圆柱形腔体，其特征在于，所述圆柱形腔体的前后两端开口处均设有一个第一法兰接口，两个所述第一法兰接口的外侧均设有一个第二法兰接口，所述圆柱形腔体的上下两侧分别设有互为对角设置的第三法兰接口和第四法兰接口；所述圆柱形腔体的左右两侧均设有一个第五法兰接口和一个第六法兰接口，所述第六法兰接口设于第五法兰接口的后侧；所述圆柱形腔体的上侧还设有第七法兰接口，所述第七法兰接口设于第三法兰接口的后侧；所述圆柱形腔体的左右两侧还分别设有第八法兰接口和第九法兰接口，所述第九法兰接口设于第三法兰接口和右侧的一个第五法兰接口之间，所述第八法兰接口设于第三法兰接口和左侧的一个第五法兰接口之间。
2.根据权利要求1所述的一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体，其特征在于，所述圆柱形腔体采用型号为316L的无缝不锈钢管制成。
3.根据权利要求1所述的一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体，其特征在于，所述第三法兰接口、所述第四法兰接口、所述第七法兰接口、所述第八法兰接口、所述第九法兰接口、两个所述第一法兰接口、两个所述第五法兰接口、两个所述第六法兰接口和两个所述第二法兰接口均采用型号为304的不锈钢管制成。
4.根据权利要求1所述的一种用于团簇束流沉积的超高真空腔体，其特征在于，还包括连接板；所述连接板横向固定在第四法兰接口的下端开口处外侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于探普（南京）工业科技有限公司，未经探普（南京）工业科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020067537.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种尾气处理液回收处理装置
- 下一篇：一种具有自动清洁料斗功能的灌装机
