[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的激光头

权利要求书

1.一种适用于大尺寸硅片的激光头，包括第一激光头(1)、第二激光头(2)和安装板(3)，其特征在于：所述安装板(3)表面的两侧均活动穿插有四根旋转轴(7)，四根所述旋转轴(7)的下端位于所述安装板(3)的下端，该端均固定安装有固定板(15)，四块所述固定板(15)表面上端的一侧均固定安装有第一驱动电机(6)，四块所述固定板(15)下端的两侧均固定安装有两块连接板(14)，两块所述连接板(14)相对面的中间位置处分别活动安装有所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2)，所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2)上端的两侧均固定安装有咬合齿条(19)，两块所述连接板(14)相对面的中间位置处活动穿插有转动杆(18)，所述转动杆(18)表面的两端均固定套设有咬合齿轮(17)，两个所述咬合齿轮(17)分别与两个所述咬合齿条(19)啮合连接，所述转动杆(18)的一端穿过所述连接板(14)，该端通过传动链轮和传动链条与所述第一驱动电机(6)的输出端传动连接，四根所述旋转轴(7)的上端位于所述安装板(3)的上端，该端均固定套设有锥形齿轮(8)，所述安装板(3)上端两侧的中间位置处均活动安装有安装架(11)，所述安装架(11)的中间位置处活动穿插有变向杆(12)，两根所述变向杆(12)的两端均固定安装有变向齿轮(10)，两个所述变向齿轮(10)分别与两侧的所述锥形齿轮(8)啮合连接，所述安装板(3)上端的中间位置处固定安装有第一驱动电机(6)，所述第一驱动电机(6)的输出端通过传动链轮和传动链条分别与两根所述变向杆(12)传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头，其特征在于：所述咬合齿条(19)表面的两侧均固定安装有限位块(20)，两块所述限位块(20)呈对称分布，其高大于所述咬合齿条(19)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头，其特征在于：所述转动杆(18)表面的两侧固定安装有四块挡块，所述四块挡块分别固定安装在两个所述咬合齿轮(17)的两侧呈对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头，其特征在于：所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2)上端的两侧均固定安装有安装栓(13)，两个所述安装栓(13)相离的一端分别穿过两块所述连接板(14)，该端均固定套设有固定螺母(16)。

5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头，其特征在于：四根所述旋转轴(7)在所述安装板(3)的上端呈垂直对称分布，且与两根所述变向杆(12)呈垂直对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头，其特征在于：所述安装板(3)上端的两侧均固定安装有支撑柱(4)，四根所述支撑柱(4)呈垂直对称分布，且上端之间固定安装有顶板(5)。