[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的激光头有效
申请号: | 202020011210.1 | 申请日: | 2020-01-02 |
公开(公告)号: | CN211708372U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 马敏杰;从海泉;谈锦彪;马擎天 | 申请(专利权)人: | 环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082;B23K26/70;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 尺寸 硅片 激光头 | ||
1.一种适用于大尺寸硅片的激光头,包括第一激光头(1)、第二激光头(2)和安装板(3),其特征在于:所述安装板(3)表面的两侧均活动穿插有四根旋转轴(7),四根所述旋转轴(7)的下端位于所述安装板(3)的下端,该端均固定安装有固定板(15),四块所述固定板(15)表面上端的一侧均固定安装有第一驱动电机(6),四块所述固定板(15)下端的两侧均固定安装有两块连接板(14),两块所述连接板(14)相对面的中间位置处分别活动安装有所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2),所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2)上端的两侧均固定安装有咬合齿条(19),两块所述连接板(14)相对面的中间位置处活动穿插有转动杆(18),所述转动杆(18)表面的两端均固定套设有咬合齿轮(17),两个所述咬合齿轮(17)分别与两个所述咬合齿条(19)啮合连接,所述转动杆(18)的一端穿过所述连接板(14),该端通过传动链轮和传动链条与所述第一驱动电机(6)的输出端传动连接,四根所述旋转轴(7)的上端位于所述安装板(3)的上端,该端均固定套设有锥形齿轮(8),所述安装板(3)上端两侧的中间位置处均活动安装有安装架(11),所述安装架(11)的中间位置处活动穿插有变向杆(12),两根所述变向杆(12)的两端均固定安装有变向齿轮(10),两个所述变向齿轮(10)分别与两侧的所述锥形齿轮(8)啮合连接,所述安装板(3)上端的中间位置处固定安装有第一驱动电机(6),所述第一驱动电机(6)的输出端通过传动链轮和传动链条分别与两根所述变向杆(12)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头,其特征在于:所述咬合齿条(19)表面的两侧均固定安装有限位块(20),两块所述限位块(20)呈对称分布,其高大于所述咬合齿条(19)的高度。
3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头,其特征在于:所述转动杆(18)表面的两侧固定安装有四块挡块,所述四块挡块分别固定安装在两个所述咬合齿轮(17)的两侧呈对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头,其特征在于:所述第一激光头(1)和所述第二激光头(2)上端的两侧均固定安装有安装栓(13),两个所述安装栓(13)相离的一端分别穿过两块所述连接板(14),该端均固定套设有固定螺母(16)。
5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头,其特征在于:四根所述旋转轴(7)在所述安装板(3)的上端呈垂直对称分布,且与两根所述变向杆(12)呈垂直对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光头,其特征在于:所述安装板(3)上端的两侧均固定安装有支撑柱(4),四根所述支撑柱(4)呈垂直对称分布,且上端之间固定安装有顶板(5)。
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