[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的激光器有效
申请号: | 202020011209.9 | 申请日: | 2020-01-02 |
公开(公告)号: | CN211708371U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 马敏杰;从海泉;谈锦彪;马擎天 | 申请(专利权)人: | 环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082;B23K26/70;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 尺寸 硅片 激光器 | ||
1.一种适用于大尺寸硅片的激光器,包括上主体(1)、下主体(2)、激光发生器(9)和激光头(18),其特征在于:所述上主体(1)的上端设置有卡接环(3),所述上主体(1)的上端设置有卡接杆(4),所述卡接杆(4)的上端中心位置固定连接有连接件(6),所述上主体(1)的内部固定连接支撑板(7),所述上主体(1)的内部上端设置有激光发生器(9),所述下主体(2)内部固定连接板(10),所述连接板(10)上固定连接外环(11),所述外环(11)的内部设置调整环(12),所述调整环(12)的内部卡接振镜(13),所述调整环(12)的两侧固定连接横杆(14),所述横杆(14)上螺纹连接紧固螺母(15),所述下主体(2)的底部连接四个连接螺口(16)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光器,其特征在于:所述卡接杆(4)为凹型设置,所述卡接杆(4)的底端固定连接环形的卡爪(5),所述卡爪(5)上连接螺栓。
3.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光器,其特征在于:所述支撑板(7)的一侧为弧形设置,所述支撑板(7)上匹配卡接扩束镜(8),所述扩束镜(8)正对激光发生器(9)设置。
4.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光器,其特征在于:所述外环(11)设置为四个,所述外环(11)在下主体(2)内为均匀分布,所述外环(11)的两侧设置与横杆(14)相匹配的卡槽。
5.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光器,其特征在于:所述外环(11)与调整环(12)为同心设置,所述外环(11)设置直径大于调整环(12)设置直径。
6.根据权利要求1所述的一种适用于大尺寸硅片的激光器,其特征在于:四个所述连接螺口(16)螺纹连接有螺块(17),所述螺块(17)内部卡接激光头(18)。
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