[实用新型]一种适用于大硅片的背抛滚轮有效
| 申请号： | 202020004503.7 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN210866225U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 仇慧生 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 硅片 滚轮 | ||
1.一种适用于大硅片的背抛滚轮，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)的内部设置有滑槽(2)，所述安装座(1)的一侧设置有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出端连接有连接辊(4)，所述连接辊(4)的外侧设置有齿轮(5)，且齿轮(5)位于滑槽(2)的内部，所述安装座(1)内侧的底端设置有滚轮(7)，所述滚轮(7)的外侧设置有磨砂层(8)，所述磨砂层(8)的内部设置有导向槽(9)，所述滚轮(7)一侧的内部设置有空腔(10)，所述空腔(10)的内部设置有活动块(11)，所述活动块(11)的外侧设置有螺纹杆(12)，且活动块(11)与空腔(10)之间设置有弹簧(13)，所述滚轮(7)的另一侧设置有固定杆(14)，所述安装座(1)的上方设置有固定板(15)，所述固定板(15)底端的两侧设置有连接块(16)，所述连接块(16)的底端设置有凹槽(17)，所述凹槽(17)一段的内侧设置有齿条(18)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于大硅片的背抛滚轮，其特征在于：所述安装座(1)的数量为两组，所述齿轮(5)的数量与安装座(1)相匹配，所述安装座(1)内部的底端设置有通孔(6)。
3.根据权利要求2所述的一种适用于大硅片的背抛滚轮，其特征在于：所述活动块(11)的大小与空腔(10)相匹配，且活动块(11)位于空腔(10)内部滑动连接，所述螺纹杆(12)与固定杆(14)的大小与通孔(6)相匹配。
4.根据权利要求1所述的一种适用于大硅片的背抛滚轮，其特征在于：所述连接块(16)的大小与滑槽(2)相匹配，所述齿轮(5)的大小与凹槽(17)相匹配，且齿轮(5)与齿条(18)相互啮合。
5.根据权利要求1所述的一种适用于大硅片的背抛滚轮，其特征在于：所述磨砂层(8)与滚轮(7)套接，所述导向槽(9)呈“V”形状结构。
6.根据权利要求1所述的一种适用于大硅片的背抛滚轮，其特征在于：所述滚轮(7)与两组安装座(1)转动连接，所述伺服电机(3)与外部电源电性连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
