[发明专利]一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置

权利要求书

1.一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置其特征在于，包括如下结构：

一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置，不采取封装结构密封，而是采用屏蔽电极和感应电极都可运动，且具有高频往复运动功能，通过高频往复运动实现装置自动清洁的功能，具体功能模块如下：

一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置由屏蔽电极、屏蔽电极驱动电极、屏蔽电极支撑、感应电极、感应电极驱动电极、感应电极支撑、信号调理电路和控制电路组成；

其中，屏蔽电极可在屏蔽电极驱动电极驱动下沿屏蔽电极支撑往复运动，实现两个功能，第一个功能是对感应电极的屏蔽与去屏蔽，第二个功能是通过自身的往复运动，实现对灰尘的去除；

感应电极可在感应电极驱动电极驱动下沿感应电极支撑往复运动，实现两个功能，第一个功能是配合屏蔽电极的运动，实现更大振幅的感应电极的屏蔽与去屏蔽，第二个功能是通过自身的往复运动，实现对灰尘的去除；

屏蔽电极驱动电极和感应电极驱动电极分别有两个工作频率，频率1是测量频率，频率2是清洁频率，其中频率2比频率1高；

信号调理电路对感应电极输出的感应电流进行放大、滤波和输出，实现对感应信号的调理；

控制电路控制屏蔽电极驱动电极和感应电极驱动电极的工作模式和工作频率。

2.一种具有自动清洁功能的MEMS电场测量装置其特征在于，包括如下工作步骤：

步骤一：在控制电路控制下，屏蔽电极在屏蔽电极驱动电极驱动下沿屏蔽电极支撑往复运动，运动频率为频率1，同时感应电极在感应电极驱动电极驱动下沿感应电极支撑往复运动，运动频率为频率1；

步骤二：在步骤一的前提下，装置工作为测量模式，信号调理电路对感应电极输出的感应电流进行放大、滤波和输出，实现对感应信号的调理输出；

步骤三：步骤一和步骤二持续5s后，在控制电路控制下，屏蔽电极在屏蔽电极驱动电极驱动下沿屏蔽电极支撑往复运动，运动频率为频率2，同时感应电极在感应电极驱动电极驱动下沿感应电极支撑往复运动，运动频率为频率2；

步骤四：在步骤三前提下，装置工作为自动清洁模式，通过频率2(高频率)的屏蔽电极和感应电极的独立高频往复运动，实现对灰尘的振荡清洁作用，从而实现对MEMS结构的自动清洁。

步骤五：步骤三和步骤四持续1s后，装置返回步骤一。