[发明专利]一种钝化设备及钝化方法有效
申请号: | 202011626771.3 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112864274B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;朱太荣;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钝化 设备 方法 | ||
1.一种钝化设备,其特征在于:包括隔离箱、位于隔离箱的钝化箱以及位于钝化箱内部的载具装置以及加热装置,载具装置承载切片电池,加热装置控制钝化箱内的温度,载具装置与加热装置间设有喷淋装置,喷淋装置喷淋氧气或对切片电池的断面喷淋钝化气体,还包括紫外灯管,紫外灯管的紫外线将喷淋装置喷淋通入的氧气反应成臭氧,臭氧与切片电池的断面接触进行钝化处理,所述隔离箱包括隔离主体和隔离盖板,隔离主体包括隔离腔,钝化箱位于隔离腔内,隔离主体的上端面设置有密封圈,隔离主体上设置有通气管和热电偶,通气管与隔离腔连通,通气管通入保护气或压缩空气吹扫隔离腔,热电偶延伸至钝化箱内,测量钝化箱内的温度。
2.根据权利要求1所述的一种钝化设备,其特征在于:所述钝化箱还包括盖板和用于装载载具装置和加热装置的装载结构,装载结构包括装载底板、装载连板、装载隔板以及两组装载侧板,两组装载侧板对称设置且与装载底板和装载连板固设连接,装载隔板与两组装载侧板固设连接,通过装载隔板,装载结构形成装载载具装置的载具腔以及装载加热装置的加热腔,装载隔板上固设有反应窗,加热装置与载具装置通过反应窗连通,钝化气体通过反应窗流通至载具腔内对切片电池的断面进行钝化处理,装载连板连接有弥散件,弥散件上固设有多组弥散孔,装载连板上连通设置有进气管,进气管贯穿隔离主体并向外延伸,进气管向载具装置和载具腔通氮气,弥散件的弥散孔控制进气管通入氮气的弥散均匀性。
3.根据权利要求2所述的一种钝化设备,其特征在于:所述载具装置包括载具后板、载具左侧板、载具右侧板、载具底板以及载具上板,载具底板用于支撑切片电池,切片电池的断面朝向反应窗,载具后板、载具左侧板以及载具右侧板均安装在载具底板上,载具左侧板与载具右侧板对称分布,载具后板、载具左侧板、载具右侧板以及载具底板形成承载切片电池的承载腔,载具上板和载具底板限制切片电池在竖直方向的移动,载具左侧板和载具右侧板限制切片电池在水平方向移动。
4.根据权利要求1所述的一种钝化设备,其特征在于:所述加热装置包括壳体和加热管,加热管采用红外灯管或电炉丝,加热管通过固定杆固定在壳体上。
5.根据权利要求3所述的一种钝化设备,其特征在于:所述喷淋装置包括导气管和喷淋管,导气管和喷淋管连通,导气管穿过加热装置和隔离主体延伸至隔离箱外侧,喷淋管上固设有若干喷淋孔,喷淋管与反应窗位置相对,钝化气体由导气管通入并通过喷淋孔喷淋到切片电池的断面,导气管通入保护气对钝化箱内部进行吹扫。
6.根据权利要求1所述的一种钝化设备,其特征在于:还包括排气装置,排气装置包括排气管和抽气管,排气管上固设有若干排气孔,排气管和抽气管连通,抽气管依次穿过加热装置和隔离主体并延伸至隔离箱外侧,抽气管上设置有真空计,排气装置控制钝化箱内的气压,并通过真空计对钝化箱内的气压进行检测,排气装置将钝化箱内的气压控制在设定的范围内。
7.根据权利要求4所述的一种钝化设备,其特征在于:所述紫外灯管固设于加热装置的壳体上,加热管位于紫外灯管和载具装置之间,紫外灯管与加热管间通过隔热灯罩进行隔离。
8.一种钝化方法,其特征在于:该方法通过权利要求1至权利要求7中任一项所述的钝化设备对切片电池的断面进行钝化处理,钝化处理包括将钝化气体与切片电池的断面接触。
9.根据权利要求8所述的一种钝化方法,包括以下步骤:
(1)切片电池预装;
(2)抽真空检漏;
(3)控制钝化箱的温度和压力;
(4)钝化;
钝化箱设置有进气管,进气管持续通入保护气,喷淋装置对切片电池的断面喷淋钝化气体或/和通过紫外灯管辐照氧气产生臭氧,臭氧与切片电池的断面接触进行钝化处理;
(5)抽真空;
(6)对隔离箱和钝化箱吹扫;
(7)取出钝化好的切片电池。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的