[发明专利]一种SERS基底及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202011615567.1 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112763475A 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 刘言军;张建明;殷震;张一帆 申请(专利权)人: 南方科技大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 潘登
地址: 518055 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 sers 基底 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种SERS基底的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:用激光扫描第一金属膜/聚合物膜双层膜中的第一金属膜表面,加热诱导,沉积第二金属膜于第一金属膜表面,得到所述SERS基底。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述激光的波长为300-450nm。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述激光的发射装置包括连续波激光器、纳秒脉冲激光器或飞秒脉冲激光器中的任意一种;

优选地,所述发射装置的功率为15-25mW。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述加热诱导的温度为120-180℃;

优选地,所述加热诱导的时间为2-12h;

优选地,所述沉积的方法包括溅射沉积法;

优选地,所述聚合物膜中的聚合物包括聚二甲基硅氧烷、聚苯乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯中的任意一种或至少两种的组合;

优选地,所述第一金属膜中的第一金属包括金、银、铝、铜、铟、锡或氧化铟锡中的任意一种;

优选地,所述第二金属膜中的第二金属包括金或银。

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法,其特征在于,所述聚合物膜的厚度为20-350nm;

优选地,所述第一金属膜的厚度为5-10nm;

优选地,所述第二金属膜的厚度为30-50nm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法,其特征在于,所述第一金属膜/聚合物膜双层膜的制备方法包括如下步骤:

(a)将聚合物溶液涂覆于基板上,加热,得到聚合物膜;

(b)在所述聚合物膜上沉积第一金属膜,得到所述第一金属膜/聚合物膜双层膜。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,步骤(a)所述聚合物溶液通过将聚合物溶解于溶剂中后超声震荡形成;

优选地,所述聚合物溶液的溶剂包括甲苯、四氢呋喃、氯仿或二氯甲烷中的任意一种或至少两种的组合;

优选地,所述聚合物溶液的固含量为0.5-1.5%;

优选地,步骤(a)中所述基板为玻璃片;

优选地,所述基板在使用前进行清洗;

优选地,所述清洗的方法包括:依次用丙酮、无水乙醇和去离子水对所述基板进行超声清洗;

优选地,在所述清洗之后,使用氮气将所述基板吹干,随后置于烘箱中烘干;

优选地,步骤(a)中所述涂覆的方法包括旋转涂覆;

优选地,所述旋转涂覆的速度为2000-8000r/min;

优选地,步骤(a)中所述加热的温度为60-85℃;

优选地,步骤(b)中所述沉积的方法包括离子溅射法。

8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:

(1)依次用丙酮、无水乙醇和去离子水对玻璃片进行超声清洗,用氮气吹干后置于烘箱中烘干,将聚合物溶于溶剂中,超声震荡,得到聚合物溶液;

(2)将聚合物溶液以2000-8000r/min的速度旋转涂覆于玻璃片上,在60-85℃条件下加热,得到20-350nm聚合物膜;

(3)采用离子溅射方法沉积5-10nm的第一金属膜于聚合物膜上,得到所述第一金属膜/聚合物膜双层膜;

(4)将功率为15-25mW的发射装置发射出波长为300-450nm的激光,扫描第一金属膜/聚合物膜双层膜中的第一金属膜表面,在120-180℃下加热诱导2-12h,溅射沉积30-50nm的第二金属膜于第一金属膜表面,得到所述SERS基底。

9.一种SERS基底,其特征在于,所述SERS基底由权利要求1-8任一项所述的制备方法得到。

10.一种根据权利要求9所述的SERS基底在环境分析中的应用。

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