[发明专利]炉管清洗装置及炉管清洗设备

说明书

本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。实现对炉管内壁的自动清洗，提高清洗效果。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，更具体地，涉及一种炉管清洗装置及炉管清洗设备。

背景技术

目前，用于清洗炉管(例如石英管)的清洗设备主要分为立式清洗机和卧式清洗机。卧式清洗机是对炉管进行浸泡清洗，立式清洗机是对炉管和晶舟进行喷淋清洗。两者对于炉管的外壁清洗效果都比较明显，但对于炉管内壁的清洗效果却不太理想。炉管内壁的颗粒度直接影响着wafer扩散工艺的合格率，因此，炉管内壁的清洗效果尤为重要。同时，在炉管清洗完成后，通常使用N2枪对炉管表面进行吹扫、干燥，而炉管内壁无法使用气枪吹扫，炉管内壁需要自然干燥。

如图1所示，卧式清洗机一般采用内喷嘴的形式清洗炉管内壁。进行清洗工艺时，机械手101运输炉管105到达下工艺位，炉管105接触到位于水洗槽102内底部的滚动机构103，滚动机构的滚子104在电机的驱动下，带动炉管105旋转。在水槽的一侧设置有喷嘴106，喷嘴106后接的软管连接到机台纯水管路，通过控制气动阀开闭，使用厂务的去离子水(DIW)对炉管内壁冲洗。卧式清洗机存在如下缺点：

1、进行清洗工艺时，炉管完全浸泡在水洗槽102中，从内喷嘴106喷出的DIW会遇到很大阻力，水流无法冲洗到炉管105内壁，更加无法冲洗到炉管顶部，无法达到良好的清洗效果。

2、由于炉管的长度通常要大于1500mm，在完成炉管清洗后，气枪无法深入到炉管内腔较深的地方，炉管在清洗完成后，使用气枪只能对炉管外壁吹扫，无法对内壁吹扫，内壁只能自然干燥，耗费时间较长。

如图2所示，立式清洗机在炉管下方设计有向上的喷头201，经喷头201喷射的水柱清洗炉管内壁。进行清洗工艺时，炉管202放置在卡盘203上，卡盘203通过紧固螺钉204与支撑法兰205安装在一起，支撑法兰205中间外套齿轮206，支撑法兰205底部通过导轨坐落在底部支撑板207上，旋转电机带动齿轮206旋转，从而带动炉管卡盘203和炉管202旋转。厂务的DIW经过底部喷头201向上喷射至炉管内壁顶部，顶部的水顺着炉管内壁顺流而下，达到内壁清洗的效果。立式清洗机存在如下缺点：

1、底部喷淋依靠两条竖直方向的喷淋管冲洗炉管顶部，大量的水在接触顶部后会直接掉落，只有少量的水会顺着炉管内壁流下，难以清洗干净内壁存在颗粒，清洗效果不佳。

2、此种立式清洗方法，同样使用气枪对炉管外壁吹扫，内壁则依靠底部喷头喷出的氮气干燥，但喷头位置距炉管内壁距离较远，干燥效果不明显。

发明内容

本发明的目的是提出一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，实现对炉管内壁的自动清洗及干燥。

为实现上述目的，本发明提出一种炉管清洗装置，包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；

所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；

所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；

所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。

可选地，所述传动机构包括导轨槽、传输链条、链轮和链轮驱动机构，所述传输链条设置于所述导轨槽内，至少部分所述导轨槽的延伸方向朝向所述炉管的内部，所述清洗机构设置于所述传输链条的一端，所述链轮与所述传输链条驱动配合，所述链轮驱动机构用于驱动所述链轮转动，进而驱动所述传输链条及所述清洗机构在所述炉管内移动。