[发明专利]炉管清洗装置及炉管清洗设备有效

专利信息
申请号: 202011572977.2 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112808720B 公开(公告)日: 2023-04-14
发明(设计)人: 王延广;赵宏宇;张敬博;高广新;梁家齐 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: B08B9/049 分类号: B08B9/049;B08B13/00
代理公司: 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 代理人: 左文
地址: 100176 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 炉管 清洗 装置 设备
【权利要求书】:

1.一种炉管清洗装置,其特征在于,包括:传动机构、清洗机构和清洗介质管路;所述传动机构与所述清洗机构连接,用于驱动所述清洗机构在炉管内移动;所述清洗介质管路与所述清洗机构连通,用于将清洗介质通入所述清洗机构;所述清洗机构用于喷出所述清洗介质,并在所述清洗介质的反作用力下旋转;

所述传动机构包括导轨槽、传输链条、链轮和链轮驱动机构,所述传输链条设置于所述导轨槽内,至少部分所述导轨槽的延伸方向朝向所述炉管的内部,所述清洗机构设置于所述传输链条的一端,所述链轮与所述传输链条驱动配合,所述链轮驱动机构用于驱动所述链轮转动,进而驱动所述传输链条及所述清洗机构在所述炉管内移动;

所述传输链条包括多个链节,所述链节仅能够向靠近所述链轮的一侧弯曲,以使所述链节水平部分无法向下弯曲,所述链节上设有限位过孔,所述清洗介质管路穿过每个所述链节的所述限位过孔与所述清洗机构连通;

所述导轨槽呈L型,包括垂直于所述炉管轴线的竖直部分和平行于所述炉管轴线的水平部分,所述水平部分的延伸方向朝向所述炉管的内部,所述竖直部分和所述水平部分的连接处为圆弧形,所述链轮在所述连接处与所述传输链条配合,所述链轮驱动机构通过所述链轮驱动所述传输链条时,所述传输链条的一端沿平行于所述炉管轴线的方向移动,所述传输链条的另一端沿垂直于所述炉管轴线的方向移动;所述清洗介质管路的一端为螺旋状,且设于所述导轨槽的所述竖直部分的上方。

2.根据权利要求1所述的炉管清洗装置,其特征在于,所述清洗机构包括喷头组件和旋转基座,所述喷头组件与所述旋转基座连接,所述清洗介质管路通过所述旋转基座与所述喷头组件连通,所述喷头组件上设有多个用于清洗所述炉管侧壁并使所述喷头组件旋转的第一喷嘴和多个用于清洗所述炉管顶壁的第二喷嘴。

3.根据权利要求2所述的炉管清洗装置,其特征在于,所述旋转基座包括端盖、导流轴盖、限位垫块、旋转主轴、轴承组件和主轴衬套;所述端盖与所述传输链条的一端连接;所述端盖与所述导流轴盖密封连接,二者之间形成导流腔,所述清洗介质管路与所述导流腔连通,所述导流轴盖上设置有导流嘴,所述导流嘴深入所述旋转主轴中的导流通道中;所述限位垫块设置在所述导流轴盖上,所述旋转主轴设置在所述限位垫块上,所述轴承组件套设在所述旋转主轴上,所述主轴衬套套设在所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的外侧,与所述导流轴盖密封连接,用于限制所述限位垫块、所述旋转主轴和所述轴承组件的相对位置。

4.根据权利要求3所述的炉管清洗装置,其特征在于,所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承、第一轴套、第二轴套;所述第一轴套和所述第二轴套与所述旋转主轴过紧配合,所述第一轴承的外圈和所述第二轴承的外圈与所述主轴衬套固定连接;所述第一轴承与所述第二轴承间隔设置,且所述第一轴承靠近所述限位垫块;所述旋转主轴靠近所述限位垫块的一端上设置有限位台阶,所述限位台阶设置于所述第一轴承和所述限位垫块之间,所述限位台阶远离所述限位垫块的一端与所述第一轴承的内圈抵接;所述第一轴套设置在所述第一轴承和所述第二轴承之间,所述第一轴套的两端分别与所述第一轴承的内圈、所述第二轴承的内圈抵接;所述第二轴套设置在所述第二轴承远离所述第一轴套的一侧,且所述第二轴套的一端与所述第二轴承的内圈抵接。

5.根据权利要求3所述的炉管清洗装置,其特征在于,所述旋转主轴远离所述限位垫块一端的侧壁上开设有多个连通所述导流通道的安装孔;所述喷头组件包括多个弯头管,多个所述弯头管一一对应地安装在多个所述安装孔中,均与所述导流通道连通,每个所述弯头管上均设有一个所述第一喷嘴和一个所述第二喷嘴。

6.根据权利要求5所述的炉管清洗装置,其特征在于,所述弯头管包括直管部和弯头部,所述直管部的轴向沿所述旋转主轴的径向设置,所述弯头部的轴向与所述旋转主轴的径向形成第一预设夹角;所述直管部上设有第二喷头,所述弯头部的端部设有第一喷头,且所述第一喷头的喷射方向与所述弯头部的轴向形成第二预设夹角,所述第二喷头的喷射方向平行于所述旋转主轴的轴向且朝向远离所述传输链条的一侧。

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