[发明专利]一种预对准装置及方法

说明书

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种预对准装置及方法。所述预对准装置，包括基板台、第一边检测组件、第二边检测组件和控制器。基板台用于承载并吸附基板；第一边检测组件用于检测基板的第一边的位置信息，并计算第一边的偏向值；第二边检测组件用于检测基板的第二边的位置信息，并计算第二边的偏向值；控制器根据第一边的偏向值和第二边的偏向值控制并驱动基板台校准调整。第一边检测组件和第二边检测组件中至少有一个可移动地设置在基板台上，以适应检测不同尺寸的基板，实现检测不同尺寸的基板的边缘信息，然后由控制器控制驱动基板台的校准调整，能够提高装置的通用性以及预对准效率，降低设备成本。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种预对准装置及方法。

背景技术

若基板上片精度不满足光刻机的要求，则无法进行下一步工艺，因此，在基板进行光刻工艺之前，通常需要预对准装置对基板进行预对准，以保证基板的上片精度。

现有的基板预对准装置，大都在基板台上设置探测器，然后通过探测器接收采集基板边缘数据，根据测得的数据，经计算，通过调节基板台的位置实现基板RZ方向的调节。然而由于现有的基板预对准装置中的探测器的位置固定，因此仅能够实现单一尺寸基板的预对准。而针对不同尺寸的基板，则需要不同的基板预对准装置，增加设备成本，且不便于操作。

因此，亟待需要一种预对准装置以解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种预对准装置，实现多尺寸基板的预对准，提高预对准效率，降低设备成本。

本发明的另一个目的在于提供一种兼容多尺寸基板的预对准方法，实现多尺寸基板的预对准，提高预对准效率，降低设备成本。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一方面，提供了一种预对准装置，包括：

基板台，用于承载并吸附基板；

第一边检测组件，用于检测所述基板的第一边的位置信息，并计算所述第一边的偏向值；

第二边检测组件，用于检测所述基板的第二边的位置信息，并计算所述第二边的偏向值；

所述第一边检测组件和所述第二边检测组件中至少有一个可移动地设置在所述基板台上，以适应检测不同尺寸的所述基板；

控制器，根据所述第一边的偏向值和所述第二边的偏向值控制并驱动所述基板台校准调整。

作为所述预对准装置的可选方案，所述第一边检测组件的数量为至少两个，且至少一个所述第一边检测组件可移动地设置在所述基板台上；和/或

所述第二边检测组件的数量为至少两个，且至少一个所述第二边检测组件可移动地设置在所述基板台上。

作为所述预对准装置的可选方案，两个所述第一边检测组件可移动地设置在所述基板台上，且两个所述第一边检测组件保持同量移动，两个所述第一边检测组件的连接线与所述基板台的边缘平行。

作为所述预对准装置的可选方案，至少一个所述第二边检测组件可移动地设置在所述基板台上；和/或两个所述第二边检测组件固定设置在所述基板台上，且两个所述第二边检测组件的连接线与所述基板台的边缘平行。

作为所述预对准装置的可选方案，两个所述第一边检测组件对称固定在所述基板台的两侧，两个固定设置的所述第一边检测组件的连接线与两个移动设置的所述第一边检测组件的连接线相垂直。

作为所述预对准装置的可选方案，至少一个所述第一边检测组件固定在所述基板台上，且位于所述基板台的边缘位置；和/或至少一个所述第二边检测组件固定在所述基板台上，且位于所述基板台的边缘位置。