[发明专利]一种预对准装置及方法

权利要求书

1.一种预对准装置，其特征在于，包括：

基板台(1)，用于承载并吸附基板；

第一边检测组件(2)，用于检测所述基板的第一边(101)的位置信息，并计算所述第一边(101)的偏向值；

第二边检测组件(3)，用于检测所述基板的第二边(102)的位置信息，并计算所述第二边(102)的偏向值；

所述第一边检测组件(2)和所述第二边检测组件(3)中至少有一个可移动地设置在所述基板台(1)上，以适应检测不同尺寸的所述基板；

控制器，根据所述第一边(101)的偏向值和所述第二边(102)的偏向值控制并驱动所述基板台(1)校准调整。

2.根据权利要求1所述的预对准装置，其特征在于，所述第一边检测组件(2)的数量为至少两个，且至少一个所述第一边检测组件(2)可移动地设置在所述基板台(1)上；和/或

所述第二边检测组件(3)的数量为至少两个，且至少一个所述第二边检测组件(3)可移动地设置在所述基板台(1)上。

3.根据权利要求2所述的预对准装置，其特征在于，两个所述第一边检测组件(2)可移动地设置在所述基板台(1)上，且两个所述第一边检测组件(2)保持同量移动，两个所述第一边检测组件(2)的连接线与所述基板台(1)的边缘平行。

4.根据权利要求3所述的预对准装置，其特征在于，至少一个所述第二边检测组件(3)可移动地设置在所述基板台(1)上；和/或两个所述第二边检测组件(3)固定设置在所述基板台(1)上，且两个所述第二边检测组件(3)的连接线与所述基板台(1)的边缘平行。

5.根据权利要求4所述的预对准装置，其特征在于，两个所述第一边检测组件(2)对称固定在所述基板台(1)的两侧，两个固定设置的所述第一边检测组件(2)的连接线与两个移动设置的所述第一边检测组件(2)的连接线相垂直。

6.根据权利要求2所述的预对准装置，其特征在于，至少一个所述第一边检测组件(2)固定在所述基板台(1)上，且位于所述基板台(1)的边缘位置；和/或至少一个所述第二边检测组件(3)固定在所述基板台(1)上，且位于所述基板台(1)的边缘位置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的预对准装置，其特征在于，所述第一边检测组件(2)和所述第二边检测组件(3)均包括反射镜(4)和预对准镜头(6)，所述反射镜(4)和与其相配合的所述预对准镜头(6)的相对位置保持不变。

8.根据权利要求7所述的预对准装置，其特征在于，所述基板台(1)上设置有贯穿槽，所述反射镜(4)设置在所述基板台(1)的下方，所述预对准镜头(6)设置在所述基板台(1)的上方，位于所述基板台(1)中间位置的所述反射镜(4)通过所述贯穿槽向与其相配合的所述预对准镜头(6)反馈信息。

9.根据权利要求8所述的预对准装置，其特征在于，位于所述基板台(1)边缘的所述反射镜(4)至少部分伸出所述基板台(1)，以向与其相配合的所述预对准镜头(6)反馈信息。

10.一种兼容多尺寸基板的预对准方法，其特征在于，包括如下步骤：

将基板放置在基板台(1)上，并根据所述基板的尺寸信息，调整第一边检测组件(2)和/或第二边检测组件(3)的位置；

利用第一边检测组件(2)检测所述基板的第一边(101)的位置信息，并计算所述第一边(101)的偏向值；利用第二边检测组件(3)检测所述基板的第二边(102)的位置信息，并计算第二边(102)的偏向值；

根据所述第一边(101)的偏向值和第二边(102)的偏向值，计算所需的补偿偏差值；

调整所述基板台(1)垂直于水平向的旋转偏差值；

调整所述基板台(1)水平向偏差值。