[发明专利]一种防尘效果好的芯片制造防尘装置有效

专利信息
申请号: 202011556272.1 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112871787B 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 赵文 申请(专利权)人: 谦筑科技(上海)有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B5/04;B08B13/00
代理公司: 东莞市汇橙知识产权代理事务所(普通合伙) 44571 代理人: 黎敏强
地址: 200082 上海市杨*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 防尘 效果 芯片 制造 装置
【说明书】:

发明涉及芯片制造技术领域,且公开了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,包括防护罩,所述防护罩的内部固定安装有电动导轨,所述电动导轨的顶部活动安装有物料放置移动座,所述防护罩的左右两侧均嵌入有海绵块,所述海绵块上开设有穿孔,所述防护罩内腔的顶壁固定安装有清洁辊,所述防护罩内腔的顶壁固定安装有电动机,所述电动机的输出轴处与清洁辊的外部均固定安装有传动盘。该防尘效果好的芯片制造防尘装置,实现了清理的产生的灰尘通过吸尘管吸入收集箱内进行储存,同时密封网盖实现了对灰尘的隔离避免灰尘进入软管内,从而方便了对上扬的灰尘进行处理,避免灰尘再次落到物料上,达不到好的防潮效果。

技术领域

本发明涉及芯片制造技术领域,具体为一种防尘效果好的芯片制造防尘装置。

背景技术

集成电路英语:integrated circuit,su缩写IC;或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)和晶片/芯片(chip)在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。

随着时代和科技的发展,科技的进步同时促进了芯片制造防尘装置的技术进步,但是依然存在着缺陷,现在的芯片制造防尘装置结构简单,达不到好的防尘效果的同时,不便于对灰尘进行处理,故而提出了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置解决这一问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,具备防尘效果好,便于处理灰尘等优点,解决了现在的芯片制造防尘装置结构简单,达不到好的防尘效果的同时,不便于对灰尘进行处理的问题。

(二)技术方案

为实现上述防尘效果好,便于处理灰尘目的,本发明提供如下技术方案:一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,包括防护罩,所述防护罩的内部固定安装有电动导轨,所述电动导轨的顶部活动安装有物料放置移动座,所述防护罩的左右两侧均嵌入有海绵块,所述海绵块上开设有穿孔,所述防护罩内腔的顶壁固定安装有清洁辊,所述防护罩内腔的顶壁固定安装有电动机,所述电动机的输出轴处与清洁辊的外部均固定安装有传动盘,两个所述传动盘的外部均与传动带套接,所述防护罩的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵,所述防护罩内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆,两个所述伸缩杆的底部均与圆盘固定连接,所述圆盘的底部连通有吸头,所述防护罩的顶部固定安装有与圆盘固定连接的电动推杆,所述防护罩的顶部固定安装有传动电机,左侧所述抽气泵的顶部与圆盘之间连通有连接管,所述防护罩内腔的顶壁开设有导动槽,所述导动槽内滑动连接有移动架,所述移动架的右侧固定安装有齿条,所述传动电机的输出轴处固定安装有与齿条啮合的齿盘,所述移动架的底部固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴处固定安装有清洁刷盘,所述防护罩内腔的底壁固定安装有吸尘管,所述吸尘管的顶部连通有吸管,所述防护罩的前表面固定安装有与吸管连通的收集箱,所述收集箱的顶部插接有密封网盖,右侧所述抽气泵与密封网盖之间连通有软管。

优选的,所述防护罩前表面的左侧固定安装有充电蓄电池,所述电动导轨、电动机、抽气泵、电动推杆、传动电机和伺服电机均与充电蓄电池电连接。

优选的,所述吸尘管由直管和吸尘头组成,所述直管的顶部连通有吸尘头。

优选的,所述圆盘由空心圆盘和吸头组成,所述空心圆盘的底部连通有吸头。

优选的,所述导动槽呈长方形,所述移动架位于导动槽的后侧时清洁刷盘位于圆盘的后侧。

优选的,所述齿条为齿盘状长方体,且齿条的长度等于导动槽的长度。

优选的,所述清洁辊的外侧活动安装有稳定架,且清洁辊与稳定架的连接方式为转动连接。

优选的,所述密封网盖的底部固定安装有防尘网,收集箱的顶部呈开口状。

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