[发明专利]一种防尘效果好的芯片制造防尘装置有效

专利信息
申请号: 202011556272.1 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112871787B 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 赵文 申请(专利权)人: 谦筑科技(上海)有限公司
主分类号: B08B1/02 分类号: B08B1/02;B08B5/04;B08B13/00
代理公司: 东莞市汇橙知识产权代理事务所(普通合伙) 44571 代理人: 黎敏强
地址: 200082 上海市杨*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 防尘 效果 芯片 制造 装置
【权利要求书】:

1.一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,包括防护罩(1),其特征在于:所述防护罩(1)的内部固定安装有电动导轨(2),所述电动导轨(2)的顶部活动安装有物料放置移动座(3),所述防护罩(1)的左右两侧均嵌入有海绵块(4),所述海绵块(4)上开设有穿孔(5),所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有清洁辊(6),所述防护罩(1)内腔的顶壁固定安装有电动机(7),所述电动机(7)的输出轴处与清洁辊(6)的外部均固定安装有传动盘(8),两个所述传动盘(8)的外部均与传动带(9)套接,所述防护罩(1)的顶部固定安装有数量为两个的抽气泵(10),所述防护罩(1)内腔顶壁的左侧固定安装有数量为两个的伸缩杆(11),两个所述伸缩杆(11)的底部均与圆盘(12)固定连接,所述圆盘(12)的底部连通有吸头(13),所述防护罩(1)的顶部固定安装有与圆盘(12)固定连接的电动推杆(14),所述防护罩(1)的顶部固定安装有传动电机(16),左侧所述抽气泵(10)的顶部与圆盘(12)之间连通有连接管(17),所述防护罩(1)内腔的顶壁开设有导动槽(18),所述导动槽(18)内滑动连接有移动架(19),所述移动架(19)的右侧固定安装有齿条(15),所述传动电机(16)的输出轴处固定安装有与齿条(15)啮合的齿盘(22),所述移动架(19)的底部固定安装有伺服电机(20),所述伺服电机(20)的输出轴处固定安装有清洁刷盘(21),所述防护罩(1)内腔的底壁固定安装有吸尘管(23),所述吸尘管(23)的顶部连通有吸管(24),所述防护罩(1)的前表面固定安装有与吸管(24)连通的收集箱(25),所述收集箱(25)的顶部插接有密封网盖(26),右侧所述抽气泵(10)与密封网盖(26)之间连通有软管(27);

通过设置的电动导轨(2),从而实现了物料放置移动座(3)在电动导轨(2)上移动的同时,配合电动机(7)带动传动盘(8)转动的同时传动带(9)传动,带动清洁辊(6)转动对物料放置移动座(3)上的芯片进行清理防尘,同时待物料放置移动座(3)移动至圆盘(12)下方的同时配合电动推杆(14) 推动圆盘(12)向下移动,伸缩杆(11)同步进行伸缩支撑,使抽气泵(10)工作,通过抽气泵(10)、连接管(17)、圆盘(12)和吸头(13)之间的互相连通,使吸头(13)对芯片进行吸附上升,同时配合传动电机(16)带动齿盘(22)转动,利用齿盘(22)与齿条(15)啮合,实现了齿条(15)带动移动架(19)在导动槽(18)内移动,使清洁刷盘(21)位于圆盘(12)的下方,通过伺服电机(20)带动清洁刷盘(21)转动对芯片的背面进行清洁防尘,同时待清理防尘完成后电动推杆(14)推动圆盘(12)下移,使吸头(13)上的芯片放置在物料放置移动座(3)上,如此往复从而实现了对物料的清理防尘。

2.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述防护罩(1)前表面的左侧固定安装有充电蓄电池(28),所述电动导轨(2)、电动机(7)、抽气泵(10)、电动推杆(14)、传动电机(16)和伺服电机(20)均与充电蓄电池(28)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述吸尘管(23)由直管和吸尘头组成,所述直管的顶部连通有吸尘头。

4.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述圆盘(12)由空心圆盘和吸头组成,所述空心圆盘的底部连通有吸头。

5.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述导动槽(18)呈长方形,所述移动架(19)位于导动槽(18)的后侧时清洁刷盘(21)位于圆盘(12)的后侧。

6.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述齿条(15)为齿盘状长方体,且齿条(15)的长度等于导动槽(18)的长度。

7.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的芯片制造防尘装置,其特征在于:所述清洁辊(6)的外侧活动安装有稳定架,且清洁辊(6)与稳定架的连接方式为转动连接。

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