[发明专利]金刚石基紫外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种金刚石基紫外探测器，其特征在于：包括金刚石薄膜(1)、第一电极(2)、第二电极(3)和绝缘层(4)；所述金刚石薄膜(1)包括金刚石微柱(101)、第一沟槽(102)、第二沟槽(103)和第三沟槽(104)，所述金刚石微柱(101)在金刚石薄膜(1)的表面周期性排布，所述金刚石微柱(101)两两之间的空隙为第三沟槽(104)，所述第三沟槽(104)的两侧分别设置与其联通的第一沟槽(102)、第二沟槽(103)；所述第一电极(2)设置在第一沟槽(102)、第三沟槽(104)上；所述第二电极(3)设置在第二沟槽(103)、第三沟槽(104)上方；所述绝缘层(4)设置在第一电极(2)、第二电极(3)堆叠的区域之间。

2.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述第二电极(3)的上表面不高于金刚石微柱(101)的上表面。

3.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述第一电极(2)、第二电极(3)均包括柄部和齿部，所述第一电极(2)的齿部与第二电极(3)的齿部在第三沟槽(104)上方堆叠。

4.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述金刚石微柱(101)的高度为5μm～20μm，宽度为40μm～60μm。

5.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述第三沟槽(104)的宽度为10μm～30μm。

6.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述金刚石薄膜(1)的厚度≤10μm。

7.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述绝缘层(4)的厚度为2μm～4μm。

8.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述绝缘层(4)由二氧化硅、氮化硅、氧化铝、氮化铝或氧化钛材料制成。

9.根据权利要求1所述的金刚石基紫外探测器，其特征在于：所述第一电极(2)、第二电极(3)由金、铬或钛材料制成。

10.根据权利要求1～9任一项所述的金刚石基紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：准备好金刚石薄膜(1)；

S2：刻蚀金刚石薄膜(1)，在其表面形成金刚石微柱(101)、第一沟槽(102)、第二沟槽(103)和第三沟槽(104)；

S3：在第一沟槽(102)、第二沟槽(103)和第三沟槽(104)中依次沉积第一电极(2)、绝缘层(4)和第二电极(3)，并去除多余部分。