[发明专利]自驱动排汗的电子皮肤及其制备方法有效
申请号: | 202011515511.9 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112667101B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 凌云志;王垚;郑伟;燕英强;胡川;陈志涛 | 申请(专利权)人: | 广东省科学院半导体研究所 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 陈旭红;吕金金 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动 排汗 电子 皮肤 及其 制备 方法 | ||
1.一种自驱动排汗的制备电子皮肤方法,其特征在于,包括:
制作预设图案的导电层;
在所述导电层的第一侧设置第一聚合物层;
在所述第一聚合物层上设置亲水层;
在所述导电层的第二侧设置第二聚合物层,从而形成四层结构膜;其中,所述第二聚合物层具有疏水性;
刻蚀形成贯穿所述四层结构膜的圆锥形微孔,从而得到电子皮肤;其中所述亲水层的孔径小于所述第二聚合物层的孔径;
其中,所述制作预设图案的导电层,包括:
在临时载板上通过光刻胶的曝光显影和/或激光刻蚀,从而得到所述预设图案的导电材料涂布区域;
在所述导电材料涂布区域生长垂直金纳米线、旋涂平行金纳米线溶液、旋涂碳纳米管溶液或者旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐溶液,从而得到所述预设图案的导电层;
其中,所述在所述导电层的第一侧设置第一聚合物层,在所述第一聚合物层上设置亲水层,包括:
在所述导电层上涂布第一聚合物溶液;
待所述第一聚合物溶液成膜后,涂布所述第一聚合物溶液;
在所述第一聚合物溶液未成膜前设置所述亲水层。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述刻蚀形成贯穿所述四层结构膜的圆锥形微孔,包括:
利用激光刻蚀在所述四层结构膜中形成圆锥形微孔,其中所述激光的光斑尺寸为0.01-0.05mm;或者,
利用机械转孔方式在所述四层结构膜中形成圆锥形微孔,其中转孔转子为倒圆锥形,其尺寸为0.1-0.5mm;或者,
利用等离子干法刻蚀或湿法刻蚀方式在所述四层结构膜中形成圆锥形微孔。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述得到电子皮肤之后,还包括:
在所述电子皮肤的上下两端设置外接电极。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述亲水层包括硝酸纤维素、醋酸纤维素、纳米纤维素膜和超薄滤纸中的至少一种;所述第一聚合物层和所述第二聚合物层相同;所述第一聚合物层和所述第二聚合物层包括聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷,聚乙烯,聚对苯二甲酸乙二醇酯、共聚酯中的至少一种。
5.一种自驱动排汗的电子皮肤,其特征在于,包括:
导电层,包括第一侧和第二侧;其中,所述导电层包括金纳米线层、碳纳米管层或者聚3,4-乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐层的其中一种;
第一聚合物层,设置在所述导电层的第一侧;
亲水层,设置在所述第一聚合物层上;
第二聚合物层,设置在所述导电层的第二侧,其中,所述第二聚合物层具有疏水性;
圆锥形微孔,贯穿所述电子皮肤,在所述亲水层和所述第二聚合物层分别形成孔径,其中所述亲水层的孔径小于所述第二聚合物层的孔径。
6.根据权利要求5所述的电子皮肤,其特征在于,所述亲水层包括硝酸纤维素、醋酸纤维素、纳米纤维素膜和超薄滤纸中的至少一种;所述第一聚合物层和所述第二聚合物层相同;所述第一聚合物层和所述第二聚合物层包括聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷,聚乙烯,聚对苯二甲酸乙二醇酯、共聚酯中的至少一种。
7.根据权利要求5所述的电子皮肤,其特征在于,还包括:
外接电极,分别设置于所述电子皮肤的上下两端。
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