[发明专利]脉冲电源测试用负载装置在审

专利信息
申请号: 202011496117.5 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN114646894A 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 欧科军;田修波;范鹏 申请(专利权)人: 松山湖材料实验室
主分类号: G01R31/40 分类号: G01R31/40;G01R1/20
代理公司: 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 代理人: 陈培琼
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 脉冲 电源 测试 负载 装置
【说明书】:

发明公开了一种脉冲电源测试用负载装置,其包括放电电极、导电液体箱、驱动机构、制冷机构、电压传感器以及电流传感器;放电电极依极性与脉冲电源的输出端电性连接,电压传感器依极性与放电电极并联,电流传感器依电流方向串入放电电极;导电液体箱中承载有导电液体,制冷机构用于冷却导电液体箱中的导电液体;驱动机构驱动放电电极运动,以控制放电电极是否浸入导电液体以及浸入导电液体的深度。本发明主要解决如何提供能够承受直流高电压、大电流脉冲冲击以及长时间大功率输出测试的负载装置的问题;其能够承受直流高电压、大电流脉冲冲击以及长时间大功率输出测试,耐用度高,且成本较电阻负载和电子负载低,适合推广应用。

技术领域

本发明涉及电源负载技术领域,具体为一种脉冲电源测试用负载装置。

背景技术

用于真空镀膜行业等离子体放电的脉冲电源具有直流高电压(超千伏特)、脉冲冲击电流大(超千安培)以及大功率(百千瓦特级)的特点,普通直流电子负载无法承受该型脉冲电源的高压大电流冲击和长时间的大功率的输出测试。

目前,对该型脉冲电源进行输出测试的负载装置,有以下两种解决方案:

1、电阻负载:使用功率电阻串并联后,达到所需的电气参数需求;虽然阻负载方案的成本较低,但是电阻负载装置占用空间大,电气参数固定,不适合宽范围的测量。

2、电子负载:使用功率晶体管构成电子负载,通过逆变转换,能够将输出测试中消耗的电能反馈至电网中;然而电子负载装置不可承受超千伏特直流电压和千安培电流的脉冲冲击,且电子负载装置的阻抗特性与真空等离子体状况不同,无法测试真空镀膜行业中的专用脉冲电源。

综上所述,如何提供一种造价较低、耐用性高,且能够承受直流高电压、大电流脉冲冲击以及长时间大功率输出测试的负载装置成为亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种脉冲电源测试用负载装置,其能够承受直流高电压、大电流脉冲冲击以及长时间大功率输出测试,且成本较低。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种脉冲电源测试用负载装置,包括放电电极、导电液体箱、驱动机构、制冷机构、电压传感器以及电流传感器;所述放电电极依极性与所述脉冲电源的输出端电性连接,所述电压传感器依极性与所述放电电极并联,所述电流传感器依电流方向串入所述放电电极;所述导电液体箱中承载有导电液体,所述制冷机构用于冷却所述导电液体箱中的导电液体;所述驱动机构驱动所述放电电极运动,以控制所述放电电极是否浸入所述导电液体以及浸入所述导电液体的深度。

上述技术方案中,所述驱动机构包括电动缸、电极支架以及绝缘夹块;所述放电电极通过绝缘夹块固定在电极支架上,所述电极支架固定在所述电动缸的推杆上。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括短路机构;所述短路机构包括短路电极、电磁铁以及接触器;所述接触器的一端与其中一个所述放电电极电性连接,所述接触器的另外一端与所述短路电极电性连接;所述电磁铁磁耦合连动所述短路电极与另外一个所述放电电极相接触。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括用于向所述导电液体箱中添加高浓度导电液体的高浓度导电液体通道。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括用于向所述导电液体箱中添加溶剂的溶剂通道。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括用于测量所述导电液体箱中的导电液体之密度的密度传感器。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括用于测量所述导电液体箱中的导电液体之液位的液位传感器。

上述技术方案中,该种脉冲电源测试用负载装置还包括用于测量所述导电液体箱中的导电液体之温度的温度传感器。

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