[发明专利]涂胶显影设备的稳压装置以及涂胶显影设备

权利要求书

1.一种涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，包括：

风洞，具有一轴向贯穿所述风洞两端的进风端和出风端的通孔，靠近所述进风端的通孔的侧壁上设置有限位口，所述限位口向所述通孔的中心方向凸出；

轴承，轴向设置于所述通孔中；

活塞，用于与所述限位口配合打开或关闭所述通孔，所述活塞位于所述限位口的靠近所述进风端的一侧，且所述活塞与所述轴承的靠近所述进风端的一端连接；

弹簧，设置于所述限位口的远离所述进风端的一侧，所述弹簧环套于所述轴承上，且所述弹簧的靠近所述限位口的一端通过所述轴承上的一弹簧限位杆固定于所述轴承上；

曲柄和曲柄连杆，设置于所述弹簧的远离所述进风端的一侧，所述曲柄环绕于所述轴承上，所述曲柄连杆用于调整所述曲柄与所述轴承之间的夹角，所述曲柄与所述弹簧的远离所述限位口的一端连接；以及，

螺旋桨，设置于所述轴承的靠近所述出风端的一端，且所述螺旋桨位于所述曲柄的远离所述弹簧的一侧。

2.如权利要求1所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述涂胶显影设备的稳压装置还包括至少两个固定支架，所述轴承轴向贯穿所述至少两个固定支架，以使得所述至少两个固定支架限制所述轴承沿着轴向移动。

3.如权利要求1所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述涂胶显影设备的稳压装置还包括导流口，设置于所述风洞的进风端，且与所述通孔连通。

4.如权利要求3所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述导流口为喇叭状，且所述导流口的与所述进风端连接的一端的开口面积小于所述导流口的远离所述进风端的另一端的开口面积。

5.如权利要求1所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述曲柄连杆的一端穿过所述通孔的侧壁与所述曲柄连接，所述曲柄连杆的另一端设置于所述风洞外。

6.如权利要求1所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述通孔关闭时的所述弹簧的压缩程度大于所述通孔打开时的所述弹簧的压缩程度。

7.如权利要求1所述的涂胶显影设备的稳压装置，其特征在于，所述活塞为楔形，所述限位口的与所述活塞配合的一侧为反楔形。

8.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括：

载物台腔室，用于将一晶圆从一传送盒中抽出；

晶圆转移腔室，用于将抽出的所述晶圆传递到下一腔室，所述晶圆转移腔室与所述载物台腔室连通；

涂胶显影腔室，用于接收所述晶圆转移腔室传递出的所述晶圆，并对所述晶圆进行涂胶和显影，所述涂胶显影腔室与所述晶圆转移腔室连通；

清洗腔室，用于对完成涂胶和显影后的所述晶圆进行清洗，所述清洗腔室与所述涂胶显影腔室连通；以及，

交互腔室，用于将完成清洗的所述晶圆传递到一曝光腔室中，所述交互腔室与所述清洗腔室连通；以及，

如权利要求1至7中任一项所述的涂胶显影设备的稳压装置，设置于所述涂胶显影腔室与所述晶圆转移腔室以及所述清洗腔室与所述涂胶显影腔室的连通处，且所述涂胶显影设备的稳压装置中的风洞的进风端朝向所述涂胶显影腔室，所述涂胶显影设备的稳压装置中的风洞的出风端朝向所述晶圆转移腔室和所述清洗腔室。

9.如权利要求8所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备的稳压装置还包括导流口，设置于所述进风端，且所述导流口的背向所述进风端的一端朝向所述涂胶显影腔室。

10.如权利要求8所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影腔室中设置有一旋涂腔室，用于对所述晶圆进行涂胶，所述旋涂腔室与所述涂胶显影腔室连通。

11.如权利要求10所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备处于稳定状态时，所述旋涂腔室的气压值大于所述涂胶显影腔室的气压值，所述涂胶显影腔室的气压值大于所述晶圆转移腔室和所述清洗腔室的气压值，所述晶圆转移腔室的气压值大于所述载物台腔室的气压值，所述清洗腔室的气压值大于所述交互腔室的气压值。