[发明专利]输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法

说明书

本公开涉及一种输送系统，包括：可移动元件，其包括第一线圈群和第二线圈群；以及包括多个磁性体的定子，所述多个磁性体沿着第一方向布置成使得所述多个磁体能够面对第一线圈群和第二线圈群。第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，并且第二线圈群包括沿着与第一方向交叉的第二方向布置的多个第二线圈。在电流施加到第一线圈群或第二线圈群的情况下，在可移动元件和所述多个磁性体之间生成力。可移动元件能够沿着所述多个磁性体在第一方向上移动，同时可移动元件的取向由生成的力控制。本公开还涉及一种可移动元件、一种控制装置、一种控制方法、以及一种制造物品的方法。

技术领域

本公开涉及输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法。

背景技术

通常例如在用于工业产品组装的生产线中以及在半导体曝光装置中要使用输送系统。尤其是，生产线中的输送系统在自动化生产线中的多个工位之间或者在工厂中的多条生产线之间输送诸如零件的工件。输送系统还用作加工装置中的输送装置。其中，已经讨论过使用可移动磁体型线性马达的输送系统。

使用线性马达的输送系统包括涉及机械接触的引导装置(例如线性引导件)。使用引导装置(例如线性引导件)的输送系统具有由于来自线性引导件的滑动部分的污染物(例如导轨和轴承的磨损碎片、润滑油和挥发性润滑剂)而导致的生产率降低的问题。还存在另外的由于高速输送期间滑动部分的摩擦增加而导致的线性引导件的寿命缩短的问题。

日本专利特开第2005-079368号公报讨论了一种磁悬浮输送装置，所述磁悬浮输送装置实现了输送托盘的无接触式输送。根据日本专利特开第2005-079368号公报，用于在输送方向(以下称为“X方向”)上进行控制以及在悬浮方向(以下称为“Z方向”)上进行控制的两列永磁体沿着输送托盘的输送方向布置在腔室下方。此外，在垂直于输送方向的水平方向(以下称为“Y方向”)上布置一列永磁体。在输送托盘上，与永磁体相对应地布置了三组线圈。

发明内容

根据本公开的第一方面，一种输送系统包括：可移动元件，所述可移动元件包括第一线圈群和第二线圈群，其中所述第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，并且所述第二线圈群包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置的多个第二线圈；以及包括多个磁性体的定子，所述多个磁性体沿着所述第一方向布置成使得所述多个磁性体能够面对所述第一线圈群和所述第二线圈，其中，在电流施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的情况下，在所述可移动元件和所述多个磁性体之间生成力；并且其中所述可移动元件能够沿着所述多个磁性体在所述第一方向上移动，同时所述可移动元件的取向由生成的力控制。

根据本公开的第二方面，一种可移动元件包括：上表面；侧表面；以及下表面，其中所述上表面包括第一线圈群和第二线圈群，并且其中所述第一线圈群包括沿着第一方向布置的多个第一线圈，所述第二线圈群包括沿着与所述第一方向交叉的方向布置的多个第二线圈。

根据本公开的第三方面，一种控制装置沿着磁性体移动可移动元件，其中所述可移动元件包括沿着第一方向布置的第一线圈群和沿着与所述第一方向交叉的方向布置的第二线圈群，所述磁性体沿着所述第一方向布置以面对所述第一线圈群和所述第二线圈群，所述控制装置包括：输送控制器，所述输送控制器配置成通过控制施加到所述第一线圈群的电流来控制所述可移动元件在所述第一方向上的输送；以及取向控制器，所述取向控制器配置成通过控制施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的电流来控制所述可移动元件的取向。

根据本公开的第四方面，一种控制方法沿着磁性体移动可移动元件，其中所述可移动元件包括沿着第一方向布置的第一线圈群和沿着与所述第一方向交叉的方向布置的第二线圈群，所述磁性体沿着所述第一方向布置以面对所述第一线圈群和所述第二线圈群，所述控制方法包括：通过控制施加到所述第一线圈群的电流来控制所述可移动元件在所述第一方向上的输送；以及通过控制施加到所述第一线圈群或所述第二线圈群的电流来控制所述可移动元件的取向。