[发明专利]一种测试机构及其测试装置

权利要求书

1.一种测试机构，其特征在于：包括主板、X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和用于连接测试板的接触板，所述X轴模组和所述接触板均固定在所述主板上，所述X轴模组设置在所述接触板的两端，所述Y轴模组与所述X轴模组滑动连接，所述Z轴模组与所述Y轴模组滑动连接，所述Z轴模组设置在所述接触板的上方，所述Z轴模组包括导电针和用于推动所述导电针向下运动的推动器，所述接触板包括多个导电端，所述导电端与测试板上的待测芯片电性连接，当所述导电针向下运动时点击所述导电端。

2.根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于：所述X轴模组包括第一X轴模组和第二X轴模组，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组平行设置，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组分别设置在所述接触板的两侧。

3.根据权利要求2所述的测试机构，其特征在于：所述Y轴模组包括第一Y轴模组和第二Y轴模组，所述第一Y轴模组与所述第二Y轴模组固定连接，所述第一Y轴模组与所述第一X轴模组滑动连接，所述第二Y轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

4.根据权利要求3所述的测试机构，其特征在于：所述Z轴模组包括第一Z轴模组和第二Z轴模组，所述第一Z轴模组与所述第一Y轴模组滑动连接，所述第二Z轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

5.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述第一Z轴模组包括第一导电针和用于推动所述第一导电针的第一推动器，所述第一导电针设置在所述第一推动器的下端；所述第二Z轴模组包括第二导电针和用于推动所述第二导电针的第二推动器，所述第二导电针设置在所述第二推动器的下端。

6.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述第一X轴模组包括第一滑轴、第一滑块和第一连接板，所述第一滑轴固定在所述主板上，所述第一滑轴与所述第一滑块滑动连接，所述第一连接板固定在所述第一滑轴上，所述第一Y轴模组设置在所述第一连接板上。

7.根据权利要求6所述的测试机构，其特征在于：所述第二X轴模组还包括第二滑块和第二连接板，所述第二滑块固定在所述主板上，所述第二连接板与所述第二滑块滑动连接，所述第二Y轴模组和所述第二Z轴模组分别固定在所述第二连接板上。

8.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述接触板包括第一接触板和第二接触板，所述第一接触板设置在所述第一Z轴模组的下方，所述第二接触板设置在所述第二Z轴模组的下方。

9.根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于：所述测试机构还包括用于驱动所述Y轴模组和所述Z轴模组的皮带轮，所述皮带轮设置在所述主板上。

10.一种包括权利要求1-9任一项所述测试机构的老化测试装置，其特征在于：还包括测试板和测试信号发生器，所述测试板与所述接触板电性连接，所述测试信号发生器与所述导电针电性连接。