[发明专利]一种电子显微镜的自动对焦方法

权利要求书

1.一种电子显微镜的自动对焦方法，其特征在于，包括以下步骤：

粗调：沿Z轴以第一步数移动镜头，拍摄每一位置点的图像并计算图像对应的清晰度值及清晰度变化率；清晰度值的计算公式为D(F)＝∑x∑y|f(x+2，y)-f(x，y)|²，清晰度变化率的计算公式为Bn＝(Dn+1-Dn)/Dn+1；

设定第一阈值Y1，当Bn＞Y1时，保持方向不变继续粗调；

当Bn≤Y1、且Dn+1＞Dn时，保持方向不变进入细调；当Bn≤Y1、且Dn+1＜Dn时，反方向进入细调；

细调：沿Z轴以第二步数移动镜头，拍摄每一位置点的图像并计算图像对应的清晰度值及清晰度变化率；清晰度值和清晰度变化率的计算公式与粗调时一致；

设定第二阈值Y2，当Bn＞Y2时，保持方向不变继续细调；

当Bn≤Y2时，终止细调；

其中，所述第一步数大于所述第二步数。

2.如权利要求1所述的自动对焦方法，其特征在于，所述镜头通过步进电机进行驱动；

所述步进电机的每一次走的步数包括5步、15步、35步、125步或200步中的任意两个。

3.如权利要求2所述的自动对焦方法，其特征在于，粗调时，所述第一步数选用每次走125步数或每次走200步数；细调时，所述第二步进数选用每次走5步数或每次走15步数。

4.如权利要求1所述的自动对焦方法，其特征在于，所述第一阈值Y1＝0.15，所述第二阈值Y2＝0.05。

5.如权利要求1所述的自动对焦方法，其特征在于，所述方法还包括以可视化方式显示每一个位置点对应的清晰度值和/或清晰度变化率。

6.如权利要求5所述的自动对焦方法，其特征在于，上述可视化方式包括图表、曲线图或离散图。