[发明专利]靶材供料设备与真空镀膜设备

权利要求书

1.靶材供料设备，其特征在于，包括：

第一存储模组，包括第一容器、第一转盘与第一固定装置，所述第一容器具有第一入口与第一出口，所述第一转盘位于所述第一容器内，多个第一固定装置沿所述第一转盘的周向分布；

第二存储模组，包括第二容器、第二转盘与第二固定装置，所述第二容器具有第二入口，所述第二容器与所述第一容器之间通过所述第二入口与所述第一出口连通，所述第二转盘位于所述第二容器内，多个第二固定装置沿所述第二转盘的周向分布；

第一密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与外界的连通；

第二密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与所述第二容器的连通；

第一上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第二密封模组处于切断状态时将靶材通过所述第一入口移送至各所述第一固定装置；

第二上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第一密封模组处于切断状态，且所述第二密封模组处于打开状态时，将所述第一固定装置上的所述靶材通过所述第一出口与所述第一入口移送至各所述第二固定装置；

第三上料模组，与所述第二存储模组连接，用于将所述第二固定装置上的所述靶材移送至设定位置。

2.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一容器位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组与所述第二上料模组位于所述第一容器的下方，所述第三上料模组位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组、所述第二上料模组与所述第三上料模组均能够沿竖直方向移送所述靶材。

3.根据权利要求2所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置均包括定位套与弹片，所述弹片位于所述定位套的内腔中，能够发生向上的单向变形。

4.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一上料模组包括基座与第一推动装置，其中，

基座具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口与所述第一入口连通，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；

所述第一密封模组连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；

所述第一推动装置连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材进入所述第一容器。

5.根据权利要求4所述的靶材供料设备，其特征在于，所述基座包括：

第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；

第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；

其中，所述第一密封模组位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述第一密封模组压紧在所述第一连接件上。

6.根据权利要求5所述的靶材供料设备，其特征在于，还包括锁止装置，所述锁止装置包括：

导向件，与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；

锁止件，可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。

7.根据权利要求4所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述第一密封模组能够通过所述第三开口脱离所述基座，所述第三开口与所述第二开口连通。

8.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二上料模组包括第二推动装置与第三动力装置，所述第二推动装置能够由所述第三动力装置驱动，以推动所述第一固定装置上的所述靶材移动至所述第二固定装置。