[发明专利]一种工件旋转装置和离子束物理气相沉积装置

权利要求书

1.一种工件旋转装置，其特征在于，包括机架、驱动装置、公转旋转部和自转旋转部，所述驱动装置固定设置于所述机架上，所述自转旋转部包括传动轮、多个从动轮和多个工件夹具，所述多个工件夹具分别固定于所述多个从动轮上，所述多个从动轮分别与所述传动轮传动配合，所述驱动装置与所述公转旋转部连接，所述自转旋转部固定于所述公转旋转部上，且所述自转旋转部和所述公转旋转部之间设置有两对中心轴相互垂直的锥齿轮，其中输入锥齿轮设置于所述公转旋转部的中心，与其相对输出锥齿轮与所述传动轮连接，另一对行星锥齿轮设置于所述公转旋转部的支架上，所述输入锥齿轮和所述输出锥齿轮分别与所述另一对行星锥齿轮啮合。

2.根据权利要求1所述的工件旋转装置，其特征在于，所述驱动装置包括电机和减速器，所述电机和减速器连接并固定于所述机架上。

3.根据权利要求2所述的工件旋转装置，其特征在于，所述公转旋转部包括齿轮盘，所述减速器通过主动锥齿轮与所述齿轮盘啮合。

4.根据权利要求3所述的工件旋转装置，其特征在于，所述自转旋转部还包括第一连接板和带座轴承，所述传动轮、所述多个从动轮与所述带座轴承连接后固定于所述第一连接板。

5.根据权利要求4所述的工件旋转装置，其特征在于，还包括第二连接板和第三连接板，所述第二连接板与所述支架固定连接，所述第三连接板连接所述第一连接板和所述第二连接板。

6.根据权利要求1所述的工件旋转装置，其特征在于，所述输入锥齿轮与所述输出锥齿轮的中心轴线共线，所述另一对行星锥齿轮的中心轴线共线，两中心轴线共面且垂直。

7.一种离子束物理气相沉积装置，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的工件旋转装置，还包括真空仓，所述真空仓设置于所述机架上，且所述自转旋转部和所述公转旋转部设置于所述真空仓的内部。

8.根据权利要求7所述的离子束物理气相沉积装置，其特征在于，所述驱动装置穿过所述真空仓与所述公转旋转装置连接，且连接处设置有密封结构。

9.根据权利要求7所述的离子束物理气相沉积装置，其特征在于，所述真空仓的仓壁上设置有加热管、热电偶和弧源靶，所述热电偶和所述弧源靶设置于所述仓壁的上下端并分别朝向工件。

10.根据权利要求7所述的离子束物理气相沉积装置，其特征在于，所述真空仓的顶部还设置有进气口和出气口。