[发明专利]一种等离子转移弧硅粉生产方法在审
| 申请号： | 202011352489.0 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112551530A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 柴立新;汪艳春;马仁友 | 申请（专利权）人： | 宁波广新纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/06 | 分类号： | C01B33/06;C01B33/021;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 315155 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 转移 弧硅粉 生产 方法 | ||
1.一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、取原料填装在反应器(2)的石墨坩埚(1)内；
步骤2、将反应器(2)抽真空至小于等于10kPa后，通入氩气，并控制反应器(2)内压强为70-100kPa；
步骤3、点火起弧，使电弧在等离子枪与原料之间燃烧，控制等离子枪电流小于500A，并在使得石墨坩埚(1)内原料的温度大于等于1600℃时，保持等离子枪电流与原料温度稳定，至原料完全熔融后继续步骤4；
步骤4、增大等离子枪电流大小，并控制等离子枪电流为500-600A；
步骤5、熔融的原料逐渐蒸发成相应粒子后进入冷凝器(3)中，冷凝器(3)内通入冷却气体以令蒸发的原料结晶成核，并形成硅粉体，控制冷却温度为400-500℃，冷却气体流速为6-10m/s；
步骤6、收集器(4)收集硅粉体，并进一步冷却后获得硅粉体，冷却温度为80-150℃。
2.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：在步骤1中，向所述石墨坩埚(1)内插入铜条，所述铜条用于引弧电极。
3.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：在步骤2中，所述氩气经引风机与收集器(4)循环连接。
4.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：在步骤4中，控制电压为140-160V。
5.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：在步骤6中，所述硅粉体的粒径为10-200nm。
6.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：在步骤6中，收集器(4)收集形成的硅粉体经反吹装置逆行反吹后由收粉器收集。
7.根据权利要求6所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：所述反吹装置的反吹压力控制在0.5-0.6MPa。
8.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：所述硅粉体呈球状。
9.根据权利要求1所述的一种等离子转移弧硅粉生产方法，其特征在于：所述硅粉体为硅粉、硅化铁粉或硅化锰粉。
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