[发明专利]一种真空配管连接结构及方法

说明书

本发明提供了一种真空配管连接结构及方法，涉及蚀刻设备制造技术领域，用于解决当前真空配管连接结构拧紧时费时费力，所述真空配管连接结构包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。本发明实施例提供的技术方案能够提高配管的组装效率。

技术领域

本发明涉及蚀刻设备制造技术领域，尤其涉及一种真空配管连接结构及方法。

背景技术

使用半导体真空配管的设备中，配管长度过长，在配管设置时，不易一体型安装。通常在连接两个真空配管时，利用定心环、密封圈、管夹依次箍住两个待连接管夹的连接处，在拧紧管夹上的螺丝。

然而，上述方法费时费力，降低了刻蚀前装置的组装效率。

发明内容

鉴于上述的分析，本发明旨在提供一种真空配管连接结构及方法，以解决现有技术手段中存在的上述全部或部分问题。

本发明的目的主要是通过以下技术方案实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种真空配管连接结构，包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；

所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；

所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；

所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。

进一步地，所述管夹包括：第一密封定心、第二密封定心和转盘；

所述第一密封定心和所述第二密封定心的一端与转盘转动连接，另一端与所述第一法兰盘和所述第二法兰盘旋转锁定。

进一步地，所述第一密封定心安装侧上设置有第一安装槽；

所述第二密封定心安装侧上设置有第二安装槽；

所述转盘的外周上设置有环形的第三安装槽，环形的第三安装槽的两侧环形槽壁分别插入所述第一安装槽和所述第二安装槽。

进一步地，所述第一法兰盘外壁设置有第一锁定槽和第一凸起；

所述第一密封定心内壁上设置有第二锁定槽和第二凸起；

所述第一凸起尺寸与所述第二锁定槽内径尺寸匹配，所述第一凸起与所述第二锁定槽配合形成锁定结构；

所述第二凸起尺寸与所述第一锁定槽内径尺寸匹配，所述第二凸起与所述第一锁定槽配合形成锁定结构。

进一步地，所述第一锁定槽和所述第二锁定槽为流线型；

所述第一凸起和所述第二凸起的外表面与所述流线型相匹配。

进一步地，所述第二凸起上设置有提示信息，所述提示信息用于指示所述第一法兰盘和所述第一密封定心锁定配合到位；

所述第一锁定槽开设有展示孔，所述展示孔用于展示所述提示信息。

进一步地，所述第一凸起形状与所述第二锁定槽末端形状相匹配，所述第一凸起进入所述第二锁定槽末端后，所述第二锁定槽卡住所述第一凸起；

所述第二凸起形状与所述第一锁定槽末端形状相匹配，所述第二凸起进入所述第一锁定槽末端后，所述第一锁定槽卡住所述第二凸起。