[发明专利]基板拾取装置及基板拾取方法

说明书

本发明涉及在拾取基板时减少其他基板的跟随的基板拾取装置及基板拾取方法。基板拾取装置是从在载置台上排列的多个单位基板中拾取一个单位基板的装置，并具备吸附手和控制器。吸附手装配于机械臂。吸附手具有：压杆，其从上方对拾取对象的单位基板的第一边角料及第二边角料进行按压；以及吸附部主体，其能够相对于压杆向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的单位基板进行吸附。控制部执行以下步骤：使压杆从上方按压第一边角料及第二边角料的步骤；使吸附部主体对拾取对象的单位基板进行吸附的步骤；以及通过使吸附部主体以相对于压杆向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的单位基板进行拾取的步骤。

技术领域

本发明涉及基板拾取装置及基板拾取方法，特别涉及对基板进行拾取并从其他基板分离的基板拾取装置及基板拾取方法。

背景技术

通常，在液晶面板的制造工序中，制造将成为制造单位的多个单位显示面板(单位基板)图案化而成的大面积的贴合玻璃基板(母基板)，接着将其分割为每个单位显示面板。具体而言，使用上下一对的刀轮从上下方向对母基板两面同时进行刻划，接着与两面同时分离，由此分割为每个单位显示面板。在单位显示面板彼此之间设置有多余的部分，它们在截断后成为边角料。

在拾取单位基板时，用吸附手吸附单个基板并笔直向上提起而进行拾取(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-107779号公报

然而，在上述拾取方法中，根据刻划的状态，而存在与被拾取的单位基板相邻的其他单位基板一同被吸引而提起这样的问题。

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于，在基板拾取装置中，在拾取基板时减少其他基板的跟随。

用于解决课题的方案

以下，作为用于解决课题的方案来说明多个方式。这些方式可以根据需要任意地组合。

本发明的一个观点的基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置，并具备吸附手和控制部。

吸附手装配于机械臂。吸附手具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附。

控制部执行下述步骤。

◎使按压构件从上方按压边角料的步骤。

◎使吸附部对拾取对象的基板进行吸附的步骤。

◎通过使吸附部以相对于按压构件向斜上方离开的方式移动，而对拾取对象的基板进行拾取的步骤。

在该装置中，在利用吸附手的按压构件对基板的边角料进行了按压的状态下，将吸附手向斜上方提起，由此抬起基板。由此，能够防止拾取对象的基板的相邻的其他基板被吸引而提起。其结果是，能够防止拾取时的基板的擦伤、豁口等不良情况。

也可以是，基板拾取装置还具备驱动装置，该驱动装置用于使吸附部相对于按压构件沿倾斜方向移动。

也可以是，驱动装置具有多个工作缸。

也可以是，按压构件在俯视下呈L字形状。

本发明的其他观点的基板拾取方法使用基板拾取装置来执行。基板拾取装置是从在平板上排列的多个基板中拾取一个基板的装置并具备吸附手，该吸附手具有：按压构件，其从上方对拾取对象的基板的边角料进行按压；以及吸附部，其能够相对于按压构件向斜上方移动，且用于从上方对拾取对象的基板进行吸附。

基板拾取方法具备下述步骤。