[发明专利]用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法在审
申请号: | 202011259233.5 | 申请日: | 2020-11-12 |
公开(公告)号: | CN113161507A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 金钟成;闵弘基 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;G01S17/50;G01S17/06;G01S7/48 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 袁媛;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 显示装置 设备 方法 | ||
本申请公开了用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法。该用于制造显示装置的设备包括:台架,该台架配置为支撑基板;移动单元,该移动单元配置为相对于台架移动;头单元,该头单元布置在移动单元上并且包括用于将液滴排出到基板上的喷嘴;和传感器单元,该传感器单元配置为发射激光以辐照从头单元下落到基板的液滴以感测液滴的平面形状的一部分。该设备配置为基于所感测的平面形状的一部分控制移动单元或头单元。
相关申请的交叉引用
本专利申请要求于2020年1月7日在韩国知识产权局递交的韩国专利申请第10-2020-0002143号的优先权的权益,其公开通过引用以其整体并入本文。
技术领域
一个或多个实施方式涉及设备和方法,并且更特别地,涉及用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法。
背景技术
移动装置被广泛使用且通常包括任何手持计算机装置。移动装置的示例包括智能电话和平板个人计算机(PC)。
移动装置包括用于为用户提供诸如图像的视觉信息的显示装置。当驱动显示装置的组件被小型化时,显示装置的尺寸可大大地增加。
发明内容
本公开的一个或多个实施方式包括用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法。
根据本公开的示例性实施方式,用于制造显示装置的设备包括:台架,该台架配置为支撑基板;移动单元,该移动单元配置为相对于台架移动;头单元,该头单元布置在移动单元上并且包括用于将液滴排出到基板上的喷嘴;和传感器单元,该传感器单元配置为发射激光以辐照从头单元下落到基板的液滴并且感测液滴的平面形状的一部分。
传感器单元可将激光导向到与液滴的下落方向垂直的平面的一个区。
传感器单元可将激光配置为具有来自多个可用的线形状中的特定线形状。
在示例性实施方式中,激光被布置在与传感器单元隔开第一距离的区中的液滴反射以产生反射光,并且传感器单元使用反射光来确定平面形状的一部分。
在示例性实施方式中,传感器单元包括向外部发射激光的多个传感器,并且多个传感器布置成一行。
传感器单元可布置在移动单元上。
传感器单元可包括:布置在移动单元上的传感器,产生并且发射激光;以及配置为折弯激光的路径的反射器,反射器与传感器隔开。
传感器单元可沿着相对于液滴下落在其上的基板的顶表面倾斜的平面发射激光。
液滴可包括有机材料。
该设备的控制器可基于由传感器单元感测的液滴的平面形状,控制是否操作头单元、液滴的下落速度和液滴的量中的至少一个。
该设备的控制器可将头单元的操作频率与激光的操作频率同步。
该设备的控制器可基于由传感器单元感测的结果计算液滴的平面形状和相对于传感器单元的液滴的平面中心。
该设备的控制器可基于液滴的平面中心,计算下落到基板的液滴的位置。
头单元可包括多个头,并且可基于从每个头下落的液滴的平面形状的中心,确定各个头之间的相对位置。
该设备配置为基于所感测的平面形状的一部分,控制移动单元或头单元。
根据示例性实施方式,制造显示装置的方法包括:从头单元排出材料以将材料的液滴滴落到基板上;沿着特定平面发射激光以在液滴下落到基板的同时辐照液滴;以及使用从下落的液滴反射的激光的光测量液滴的平面形状的一部分。
发射可沿着特定平面发射至少两束激光,液滴穿过特定平面。
至少两束激光可彼此平行。
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