[发明专利]用于制造显示装置的设备和制造该显示装置的方法

权利要求书

1.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：

台架，所述台架配置为支撑基板；

移动单元，所述移动单元配置为相对于所述台架移动；

头单元，所述头单元布置在所述移动单元上并且包括用于将液滴排出到所述基板上的喷嘴；以及

传感器单元，所述传感器单元配置为发射激光以辐照从所述头单元下落到所述基板的所述液滴以感测所述液滴的平面形状的一部分。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器单元将所述激光导向到与所述液滴的下落方向垂直的平面的一个区。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器单元将所述激光配置为具有来自多个可用的线形状中的特定线形状。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述激光被布置在与所述传感器单元间隔开第一距离的区中的所述液滴反射以产生反射光，并且所述传感器单元使用所述反射光来确定所述平面形状的所述一部分。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器单元包括向外部发射所述激光的多个传感器，并且所述多个传感器布置成一行。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器单元布置在所述移动单元上。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述传感器单元包括：

布置在所述移动单元上的传感器，产生并且发射所述激光；以及

配置为折弯所述激光的路径的反射器，所述反射器与所述传感器隔开。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器单元沿着相对于所述液滴下落在其上的所述基板的顶表面倾斜的平面发射所述激光。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述液滴包括有机材料。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备的控制器基于由所述传感器单元感测的所述液滴的所述平面形状，控制是否操作所述头单元、所述液滴的下落速度和所述液滴的量中的至少一个。

11.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备的控制器将所述头单元的操作频率与所述激光的操作频率同步。

12.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备的控制器基于由所述传感器单元感测的结果，计算所述液滴的所述平面形状和相对于所述传感器单元的所述液滴的平面中心。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述设备的所述控制器基于所述液滴的所述平面中心，计算下落到所述基板的所述液滴的位置。

14.根据权利要求12所述的设备，其中所述头单元包括多个头，并且

基于从每个头下落的所述液滴的所述平面形状的中心，确定各个头之间的相对位置。

15.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备配置为基于所感测的所述平面形状的所述一部分，控制所述移动单元或所述头单元。

16.一种制造显示装置的方法，所述方法包括：

从头单元排出材料以将所述材料的液滴滴落到基板上；

沿着特定平面发射激光以在所述液滴下落到所述基板的同时辐照所述液滴；以及

使用从所下落的液滴反射的所述激光的光测量所述液滴的平面形状的一部分。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述激光的所述发射沿着所述特定平面发射至少两束激光，所述液滴穿过所述特定平面。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述至少两束激光彼此平行。